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真空蒸着装置 Mega-Sapio 1700 (SGC-MS1700i)-SGC-MS1700i
真空蒸着装置 Mega-Sapio 1700 (SGC-MS1700i)-株式会社昭和真空

真空蒸着装置 Mega-Sapio 1700 (SGC-MS1700i)
株式会社昭和真空

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この製品について

■生産量UPを追及して1台で2台分の生産性を実現

従来のSapio1700から「排気工程の短縮」、「成膜工程の短縮」、「ベント工程の短縮」、「装置の安定稼働」、これらの4つを実現しました。制御系にはワイヤレスモニターを採用し高精度なプロセスコントロールを行えます。設置面積は従来のSapio1700と変わらず、生産量2倍の量産機です。

■用途・応用例

樹脂基板への反射防止膜形成

■製品例

スマートフォン向けカメラレンズ

■特長

・生産量2倍 (生産タクト1/2、フットプリント従来と同等) ・コストメリット (レンズ単価あたりの生産コスト削減、消費電力削減) ・従来装置から改造可能 (従来Sapio1700のMS (Mega-Sapio) 化も可能) 性能

■排気工程

・ハイタクト仕様 ・排気、加熱系にて新機構を採用

■成膜工程

・ハイレート蒸着仕様 ・ワイヤレスモニター新型イオンソースを採用

■ベント工程

新型ベント機構を採用

■装置の安定稼働

稼働監視システムEPIoT®を採用

  • シリーズ

    真空蒸着装置 Mega-Sapio 1700 (SGC-MS1700i)

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真空蒸着装置 Mega-Sapio 1700 (SGC-MS1700i) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気ポンプ 電源容量 真空槽 所要水量 所要圧空
真空蒸着装置 Mega-Sapio 1700 (SGC-MS1700i)-品番-SGC-MS1700i

SGC-MS1700i

要見積もり

26 inch DP×2，RP, MBP, デュアルマイスナートラップ

AC200~220V／約134.3kVA

Φ1,700mm

約8.16m3/Hr

0.5~0.7MPa

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蒸着装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社昭和真空

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場（現在は東証スタンダード市場）を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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