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高温CVD装置 オール・イン・ワンCVD装置取扱企業
株式会社エピクエストカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | リアクタ | 基板サイズ | 基板加熱 | 最高加熱温度 | 適用 | フットプリント |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
オール・イン・ワンCVD装置 |
要見積もり |
横型石英製 |
Φ2インチ×1枚 |
高周波加熱方式 |
1,500℃ (放射温度計値) |
si,sicなど |
1.3×1.3m |
