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成膜装置の製品92点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | リアクタ | 投入室 | 基板サイズ | 基板加熱 | 最高加熱温度 | 適用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
HTC3001 |
要見積もり |
縦型石英製 フェイスダウン |
トランスファーロッド付 |
Φ3インチ×1枚 |
高周波加熱方式 |
1,800℃ (放射温度計値) |
sicなど |
