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MOCVD装置 縦型リアクタ SVS2001取扱企業
株式会社エピクエストカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | リアクタ形状 | 基板 (ウエハ) サイズ×枚数 | ウエハ面 | 最高加熱温度 | 基板回転機構 | 基板加熱 | プロセス排気 | 投入室 排気システム | 投入室 基板保管機構 (3枚ストック) | 輸送機構 | ガス制御ボックス | シリンダーキャビネット | 制御装置 操作パネル | 制御装置 異常表示 | 制御装置 インターロック機能 | 制御装置 自動成長システム | 制御装置 バックアップ電源 | 制御装置 保安装置 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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SVS2001 |
要見積もり |
縦型石英製またはステンレス製 |
φ2インチ×1枚 |
フェイスアップ |
900℃ (制御用熱電対値) |
0~30rpm |
抵抗加熱方式 |
ロータリーポンプ (ドライポンプはオプション対応) |
ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ |
標準装備 |
トランスファーロッド式またはレール式 |
有機金属6系統、水素化物系3系統、キャリアガス2系統、ベントガス2系統、ダミーライン、パージライン |
47L (10L) 容器4本立 (ガス3本、窒素1本) |
標準装備 |
標準装備 |
標準装備 |
標準装備 |
標準装備 |
標準装備 |
