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真空応用装置 真空蒸着装置-フジ・インバック株式会社

真空応用装置 真空蒸着装置
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この製品について

■概要

2系統の蒸発源を持つ小型真空蒸着装置

  • シリーズ

    真空応用装置 真空蒸着装置

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真空応用装置 真空蒸着装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ 基板加熱温度 蒸発源 真空ポンプ 到達真空
真空応用装置 真空蒸着装置-品番-真空蒸着装置

真空蒸着装置

要見積もり

2インチ

700℃ (MAX)

抵抗加熱2系統

TMP＆RP

3.0×10-8Torr

フィルターから探す

蒸着装置 をフィルターから探すことができます

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

フジ・インバック株式会社

会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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