大気圧プラズマ装置プラナー型
株式会社イー・スクエア

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要プラズマ発生電極部内 (高電圧下) にワークが入るため、ワーク表面間でアークやストリーマやイオンアタックの発生頻度が高い。このため処理表面へのピンホールのダメージを生ずる。従って、金属や、金属薄膜、半導体等の導電物ワークは不向きであり、処理形態としては物理的及び化学的処理が混在するため、表面粗化処理に適しているといえる。 欠点として処理後静電気が発生する。利点は高速処理ができる。

特徴
■優位点・高速処理が可能。
・フッ素樹脂表面やポリカーボネートなどの表面改質に有効。
・ロール to ロールでのフィルム処理。
・表面粗化。

■欠点・ワークが金属等導電物や金属酸化物の場合、高圧放電空間内での処理のため、アークやストリーマ発生により処理表面を溶かす場合がある。フィルムの場合はピンホールを生ずる場合がある。
・放電空間からのイオンアタックがあり、表面への凹凸、荒れを生ずる。
・処理温度が高いため、処理条件によっては水冷ジャケットローラーが必要になる。
・処理後ワークへの帯電があるため、ワークへの集塵対策が必要。
・高電圧空間中での処理であるため、ワークが金属等の場合必ずアース等の接地が必要で、接地が不十分な場合感電の危険がある。
・条件によってプラズマがグロー化と安定するまでの時間が必要である為、その間のワークが無駄になる。
・放電電極内イオンアタック等 (セラミックス・金属) からの発塵によって電極の定期的な交換が必要である。

■被処理物とプラズマ形態・絶縁物を主体とした有機表面
・各種フィルム
・シート状
・ロール to ロール。
・粘着力制御
・表面粗化。