インラインディスクスパッタリング装置 ML3000シリーズ-ML3000シリーズ

インラインディスクスパッタリング装置 ML3000シリーズ
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

高速搬送、高成膜レート、生産規模に応じた構成に拡張可能なハードディスクの磁気ディスク向けスパッタリング装置です。

HDDのキーコンポーネントである磁気ディスクの量産から次世代開発にまで対応可能なスパッタリング装置です。

■用途ハードディスク (磁気ディスク) の生産及び次世代開発

■特長・他社装置比較で約2倍の高い生産性 (最大1,800枚/時間) を実現
・10日以上の連続稼動が可能
・お客様のプロセスに合わせたチャンバの増設が可能な高拡張性
・磁気特性向上のために真空の質を重視 (当社従来装置比  1桁改善) 
・次世代熱アシスト記録媒体開発用には高温加熱、冷却ユニットを用意
・当社従来装置比で約30 %の省スペース化を実現

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
インラインディスクスパッタリング装置 ML3000シリーズ

取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社

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インラインディスクスパッタリング装置 ML3000シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	装置構成	対応基板サイズ	生産性	真空性能	排気系	設置面積
	ML3000シリーズ	要見積もり	インライン式	2.5インチ、3.5インチ	最大1,800枚/時間 (装置構成、プロセス時間による)	到達真空度 10^-6Pa台	TMP/CRYO PUMP選択可能	90m2 (P22構成)