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コンパクト・スモールフットプリント 高性能”有機物””金属膜”用真空蒸着装置 nanoPVD-T15A取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | チャンバー | 金属用蒸着源 | 有機蒸着源 | 真空ポンプ | 真空計 | 水晶振動子膜厚モニタ | 基板シャッター | ソースシャッター | フロントビューポート | その他オプション | 電源 | 冷却水 | 圧縮空気* | ベントガス* |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
nanoPVD-T15A |
要見積もり |
Φ2inch、又はΦ4inch |
SUS304 内容積15l T/S距離300mm 到達圧力5x10-5Pascal |
抵抗加熱式 金属蒸着源 TE1-Box 最大2源 |
抵抗加熱式 有機蒸着源 LTE1 最大4源 (1cc, or 5cc) |
ターボ分子EXT75DX, ロータリーポンプRV3 (*ドライポンプオプション) |
ワイドレンジピラニゲージ:10-9~1,000mbar |
1基 (*最大2基) センサ・オシレータ・ケーブル・ソフトウエア付属 |
Φ2”基板シャッターx1 (*Φ4”基板用パドルシャッターオプション) |
ソースシャッターx1 (*最大4) |
Φ70mmフロントビューポート (シールドメッシュ) |
基板加熱 (Max500℃) , 基板回転 , 上下昇降 , ファスト・ベント |
200V 三相 10A 50/60Hz |
1l/min 18~20℃ <400kpa (max.) Φ6mmクイック継手接続 |
415kpa~550kpa* Φ6mmクイック継手接続 |
50kpa (max.) * 純度99.995% Φ6mmクイック継手 |
