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バッチ式エッチング装置 (バッチ式洗浄装置)-バッチ式エッチング装置
バッチ式エッチング装置 (バッチ式洗浄装置)-株式会社菱光社

バッチ式エッチング装置 (バッチ式洗浄装置)
株式会社菱光社

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この製品について

■概要

長年培ってきた技術を活かし、コストダウンに配慮した仕様でご提案が可能です。

■特長

・処理槽やリンス槽の数、乾燥方式等カスタマイズ可能。 ・RCA洗浄装置の製作が可能。 ・メンテナンス性に優れた、背面上部搬送機タイプ。 ・揺動機構に対応。 ・ウエハー回転機構に対応。 ・酸・アルカリ系と有機溶剤の混在仕様も対応可能。 ・角基板、小片ウエハ等、特殊な形状のワークもカセット設計から対応可能。 ・エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。

■カスタマイズ

・漏洩センサー ・排気圧センサー ・非常停止スイッチ ・一時停止スイッチ (自動メカ付) ・扉センサー (自動メカ付) ・圧力スイッチ ・温度センサー (恒温度仕様) ・自動消火システム (有機用) ・パトライト ・網入りガラス又は強化ガラス (有機用) ・爆圧ハッチ (有機用) ・各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もあります。

  • シリーズ

    バッチ式エッチング装置 (バッチ式洗浄装置)

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株式会社菱光社は、1950年に設立された精密測定機器等を販売する専門商社です。 創業当初は、発電機、自転車等の重工関連の販売を行っていましたが、1950年ごろ、ニコンの投影機一型の代理店となったことから、光学、精密測定...

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