マルチスピンプロセッサー
株式会社電子技研

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この製品について

■概要基板をスプレー方式にて現象/エッチング/乾燥処理を行います。

■特徴・スピン＆スプレー併用により高精度で均一なプロセス
・ダブルハンドロボットによる搬送
・現像/エッチング/乾燥等のプロセスを並列処理
・カップ洗浄機能付
・N2ブローと高速スピン回転による短時間での乾燥

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会社概要

株式会社電子技研は1999年に設立し、主にプラズマ処理技術の開発、関連装置の製造、販売を行う会社です。プラズマは、分子原子が電離・中性ラジカルとなっている状態で、高い反応性を持つことから、物質の表面処理、洗浄、焼結な...