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マルチスピンプロセッサー-マルチスピンプロセッサー
マルチスピンプロセッサー-株式会社電子技研

マルチスピンプロセッサー
株式会社電子技研

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この製品について

■概要

基板をスプレー方式にて現象/エッチング/乾燥処理を行います。

■特徴

・スピン＆スプレー併用により高精度で均一なプロセス ・ダブルハンドロボットによる搬送 ・現像/エッチング/乾燥等のプロセスを並列処理 ・カップ洗浄機能付 ・N2ブローと高速スピン回転による短時間での乾燥

  • シリーズ

    マルチスピンプロセッサー

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マルチスピンプロセッサー 品番1件

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マルチスピンプロセッサー-品番-マルチスピンプロセッサー

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社電子技研

会社概要

株式会社電子技研は1999年に設立し、主にプラズマ処理技術の開発、関連装置の製造、販売を行う会社です。 プラズマは、分子原子が電離・中性ラジカルとなっている状態で、高い反応性を持つことから、物質の表面処理、洗浄、焼結な...

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  • 本社所在地: 大阪府

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