枚葉スピンプロセッサー
株式会社電子技研

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この製品について

■概要基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行います。

■特徴・優れたパーティクル除去性能
・高速スピン洗浄によるタクトタイムの大幅短縮
・省スペースによるコンパクト化

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
枚葉スピンプロセッサー

取扱企業
株式会社電子技研

カテゴリ

洗浄剤・装置

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半導体製造

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半導体洗浄装置

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株式会社電子技研

会社概要

株式会社電子技研は1999年に設立し、主にプラズマ処理技術の開発、関連装置の製造、販売を行う会社です。プラズマは、分子原子が電離・中性ラジカルとなっている状態で、高い反応性を持つことから、物質の表面処理、洗浄、焼結な...

本社所在地: 大阪府

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