枚葉エッチング装置
株式会社電子技研

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この製品について

■概要LCD等の基板を水平搬送にて、エッチング／シャワー洗浄／乾燥処理を行います。

■特徴・ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッチングによる均一なプロセス
・エッチング/シャワー洗浄/乾燥等のプロセスを並列処理
・基板傾斜水洗機能による自然落下効果及び置換

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会社概要

株式会社電子技研は1999年に設立し、主にプラズマ処理技術の開発、関連装置の製造、販売を行う会社です。プラズマは、分子原子が電離・中性ラジカルとなっている状態で、高い反応性を持つことから、物質の表面処理、洗浄、焼結な...