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半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M-MAT-ZAB-8S1M
半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M-北川グレステック株式会社

半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M
北川グレステック株式会社



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この製品について

■製品情報

試験・量産用のCMP装置を、ウェハサイズに合わせてご案内しております。また、お客様のご要望に応じたオーダーメイドも承っております。弊社テクニカルセンターで実機をご覧いただけます。

■特徴

・最大φ8 インチ対応 。 ・片面ブラシスクラブ洗浄 DIW+薬液ライン 酸性・アルカリ性の薬液に対応 ・コンパクトな1 チャンバー構成で、自動運転にて乾燥まで対応

  • シリーズ

    半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M

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半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応Wfサイズ チャンバー数 チャンバー機能 LD-UnLD マニュアル フットプリント (mm) 対応アプリケーション
半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M-品番-MAT-ZAB-8S1M

MAT-ZAB-8S1M

要見積もり

φ3″~200mm

1個

片面スクラブスピン乾燥

マニュアル

W1,000xD700xH1,450

CMP/MEMS/CMP部材評価

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

北川グレステック株式会社は、ダイヤモンド研磨材による精密研磨のトップブランドKemet International社の製品やCMP装置・消耗品を取り扱う商社です。

ダイヤモンド研磨材・研磨装置の日本代理...

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  • 本社所在地: 千葉県
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