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半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M取扱企業
北川グレステック株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応Wfサイズ | チャンバー数 | チャンバー機能 | LD-UnLD マニュアル | フットプリント (mm) | 対応アプリケーション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
MAT-ZAB-8S1M |
要見積もり |
φ3″~200mm |
1個 |
片面スクラブスピン乾燥 |
マニュアル |
W1,000xD700xH1,450 |
CMP/MEMS/CMP部材評価 |