ダイヤモンド成膜装置
日本高周波株式会社

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この製品について

高出力 (最大5kW) のマイクロ波電源および自動整合器 (4Eチューナ) により、安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できます。

■特徴弊社独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御できます。

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商品画像	品番	価格 (税抜)	MW電源	整合方法	圧力制御	反応ガス	形状	成膜範囲	成膜速度
	ダイヤモンド成膜装置	要見積もり	2,450MHz, 最大出力5kW (日本高周波製)	4Eチューナによる自動整合 (日本高周波製)	自動圧力制御	メタン, 水素, 酸素 (増設可能)	1,500mm (W) × 900mm (D) × 2,000mm (H)	直径2インチ	20μm/h 工具グレード, 4μm/h 光学グレード