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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | MW電源 | 整合方法 | 圧力制御 | 反応ガス | 形状 | 成膜範囲 | 成膜速度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
ダイヤモンド成膜装置 |
要見積もり |
2,450MHz, 最大出力5kW (日本高周波製) |
4Eチューナによる自動整合 (日本高周波製) |
自動圧力制御 |
メタン, 水素, 酸素 (増設可能) |
1,500mm (W) × 900mm (D) × 2,000mm (H) |
直径2インチ |
20μm/h 工具グレード, 4μm/h 光学グレード |
