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排気系 / 排気時間
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EM-330Sシリーズ
薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 操作方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 成膜系 / 処理量 | 成膜系 / 膜厚分布 | 成膜系 / 蒸発方式 | 成膜系 / 基板加熱 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 要見積もり | 全手動 | ×10-4Pa台 | ×10-⁴Pa台まで20分以内 | 油拡散ポンプ | ¢3インチ × 4枚 | ±15% | 抵抗加熱 | 350℃ |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
