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排気系 / 到達压力
排気系 / 排気時間
型番
AAMF-C2280SPBシリーズ
薄膜形成装置 標準型蒸着装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品92点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 操作方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 成膜系 / 処理量 |
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要見積もり | 全自動 | 4 × 10-⁵Pa以下 | ×10-⁴Pa台まで20分以内 | クライオボンブ | ¢4インチ × 54枚または¢5インチ × 36枚 |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
