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排気系 / 到達压力
排気系 / 排気時間
型番
AMF-C850SPBシリーズ
薄膜形成装置 標準型蒸着装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 | 成膜系 / 処理量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 要見積もり | 4 x 10-⁵Pa以下 | x10-⁴Pa台まで15分以内 | クライオボンブ | 自動 | 手動 | ¢3インチ x 24枚または¢4インチ x 12枚 |
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