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排気ポンプ
SEC-06D：DP＋RP SEC-08C：DP＋CRYO
設置寸法
W1,240mm×D1,300mm×H2,000mm
重量
500kg
電源容量
AC200V (3φ) ／9.8kVA (28A)
到達圧力
10-4Pa台
排気速度
大気圧より6.7×10-3Pa迄20分以内
基板加熱
MAX150℃
蒸発源
抵抗加熱式蒸発源 4式、切替式 (蒸発電源2台)
排気系
拡散ポンプ、油回転ポンプ (SEC-06D) クライオポンプ、ドライポンプ (SEC-08C)
真空槽
W500mm×D500mm×H600mm
フットプリント
W1,240 mm x D1,300 mm x H2,000 mm
所要水量
0.2MPa以上 (差圧) 、0.75㎥/h、20~25℃
所要圧空
0.5MPa以上、接続口径、8A (Rp3/4)
基板回転
2~14rpm
型番
SEC-06Dシリーズ
小型真空蒸着装置 SEC-06D取扱企業
株式会社昭和真空カテゴリ
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蒸着装置の製品135点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 排気ポンプ | 設置寸法 | 重量 | 電源容量 | 到達圧力 | 排気速度 | 基板加熱 | 蒸発源 | 排気系 | 真空槽 | フットプリント | 所要水量 | 所要圧空 | 基板回転 |
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要見積もり | SEC-06D：DP＋RP SEC-08C：DP＋CRYO | W1,240mm×D1,300mm×H2,000mm | 500kg | AC200V (3φ) ／9.8kVA (28A) | 10-4Pa台 | 大気圧より6.7×10-3Pa迄20分以内 | MAX150℃ | 抵抗加熱式蒸発源 4式、切替式 (蒸発電源2台) | 拡散ポンプ、油回転ポンプ (SEC-06D) クライオポンプ、ドライポンプ (SEC-08C) | W500mm×D500mm×H600mm | W1,240 mm x D1,300 mm x H2,000 mm | 0.2MPa以上 (差圧) 、0.75㎥/h、20~25℃ | 0.5MPa以上、接続口径、8A (Rp3/4) | 2~14rpm |
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蒸着方式が抵抗加熱蒸着型の製品
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜蒸着方式
抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型成膜環境
真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型蒸着材料供給方式
単発源型 多元源型特徴機能
自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
