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リアクタ
横型石英製
基板サイズ
Φ2インチ×1枚
基板加熱
高周波加熱方式
最高加熱温度
1,500℃ (放射温度計値)
適用
si,sicなど
フットプリント
1.3×1.3m
型番
オール・イン・ワンCVD装置取扱企業
株式会社エピクエストカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | リアクタ | 基板サイズ | 基板加熱 | 最高加熱温度 | 適用 | フットプリント |
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要見積もり | 横型石英製 | Φ2インチ×1枚 | 高周波加熱方式 | 1,500℃ (放射温度計値) | si,sicなど | 1.3×1.3m |
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