全てのカテゴリ

閲覧履歴

高温CVD装置 オール・イン・ワンCVD装置-株式会社エピクエスト

全型番で同じ値の指標

リアクタ

横型石英製

基板サイズ

Φ2インチ×1枚

基板加熱

高周波加熱方式

最高加熱温度

1,500℃ (放射温度計値)

適用

si,sicなど

フットプリント

1.3×1.3m

この製品について

本装置は、プロセスユニット部、ガス制御部、シリンダーキャビネット部、電気制御部を1.3m×1.3mのフットプリントに設置した、オール・イン・ワンCVD装置です。

  • 型番

    オール・イン・ワンCVD装置

この製品を共有する


50人以上が見ています


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

成膜装置注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


高温CVD装置 オール・イン・ワンCVD装置 オール・イン・ワンCVD装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) リアクタ 基板サイズ 基板加熱 最高加熱温度 適用 フットプリント
高温CVD装置 オール・イン・ワンCVD装置-品番-オール・イン・ワンCVD装置 要見積もり 横型石英製 Φ2インチ×1枚 高周波加熱方式 1,500℃ (放射温度計値) si,sicなど 1.3×1.3m

全1種類の型番を一覧でみる

フィルターから探す

成膜装置をフィルターから探すことができます

到達圧力 Pa

0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10

基板サイズ mm

25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650

設置面積 m²

1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100

所要電力 kVA

10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35

真空槽 mm

500 - 800 800 - 1,000

基板バイアス V

0 - 5,000 5,000 - 25,000

この商品を見た方はこちらもチェックしています

成膜装置をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エピクエストは2000年に設立し、主にMBE装置、MOCVD装置の開発、製造を行っている会社です。 MBEやMOCVD装置は、天然にない人工結晶を作製する技術であるエピキタシー技術を基盤としており、結晶を成...

もっと見る

  • 本社所在地: 京都府

この商品の該当カテゴリ

Copyright © 2025 Metoree