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MOCVD装置 横型リアクタ SH4001-株式会社エピクエスト

全型番で同じ値の指標

リアクタ形状

横型ステンレスリアクタ

基板 (ウエハ) サイズ×枚数

φ4インチ×1枚

ウエハ面

フェイスアップ

最高加熱温度

1,300℃ (制御用熱電対値)

基板回転機構

0~30rpm

基板加熱

抵抗加熱方式

プロセス排気

ロータリーポンプ (ドライポンプはオプション対応)

投入室 排気システム

ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ ※ドライポンプはオプション対応

投入室 基板保管機構 (3枚ストック)

標準装備

輸送機構

トランスファーロッド式またはレール式

ガス制御ボックス

有機金属6系統、水素化物系3系統、キャリアガス2系統、ベントガス2系統、ダミーライン、パージライン

シリンダーキャビネット

47L (10L) 容器4本立 (ガス3本、窒素1本)

制御装置 操作パネル

標準装備

制御装置 異常表示

標準装備

制御装置 インターロック機能

標準装備

制御装置 自動成長システム

標準装備

制御装置 バックアップ電源

標準装備

制御装置 保安装置

標準装備

この製品について

SHシリーズは、窒化物半導体用として特別に開発された横型ステンレス製リアクタを採用しています。シミュレーション技術により設計された内部石英フローチャネルの最適化により、優れた均一性を有しています。 研究開発用GaN系・AlGaN系材料において豊富な納入実績があります。

  • 型番

    SH4001

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MOCVD装置 横型リアクタ SH4001 SH4001の性能表

商品画像 価格 (税抜) リアクタ形状 基板 (ウエハ) サイズ×枚数 ウエハ面 最高加熱温度 基板回転機構 基板加熱 プロセス排気 投入室 排気システム 投入室 基板保管機構 (3枚ストック) 輸送機構 ガス制御ボックス シリンダーキャビネット 制御装置 操作パネル 制御装置 異常表示 制御装置 インターロック機能 制御装置 自動成長システム 制御装置 バックアップ電源 制御装置 保安装置
MOCVD装置 横型リアクタ SH4001-品番-SH4001 要見積もり 横型ステンレスリアクタ φ4インチ×1枚 フェイスアップ 1,300℃ (制御用熱電対値) 0~30rpm 抵抗加熱方式 ロータリーポンプ (ドライポンプはオプション対応) ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ
※ドライポンプはオプション対応
標準装備 トランスファーロッド式またはレール式 有機金属6系統、水素化物系3系統、キャリアガス2系統、ベントガス2系統、ダミーライン、パージライン 47L (10L) 容器4本立 (ガス3本、窒素1本) 標準装備 標準装備 標準装備 標準装備 標準装備 標準装備

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到達圧力 Pa

0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10

基板サイズ mm

25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650

設置面積 m²

1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100

所要電力 kVA

10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35

真空槽 mm

500 - 800 800 - 1,000

基板バイアス V

0 - 5,000 5,000 - 25,000

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会社概要

株式会社エピクエストは2000年に設立し、主にMBE装置、MOCVD装置の開発、製造を行っている会社です。 MBEやMOCVD装置は、天然にない人工結晶を作製する技術であるエピキタシー技術を基盤としており、結晶を成...

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  • 本社所在地: 京都府

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