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リアクタ形状
横型ステンレスリアクタ
基板 (ウエハ) サイズ×枚数
φ4インチ×1枚
ウエハ面
フェイスアップ
最高加熱温度
1,300℃ (制御用熱電対値)
基板回転機構
0~30rpm
基板加熱
抵抗加熱方式
プロセス排気
ロータリーポンプ (ドライポンプはオプション対応)
投入室 排気システム
ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ ※ドライポンプはオプション対応
投入室 基板保管機構 (3枚ストック)
標準装備
輸送機構
トランスファーロッド式またはレール式
ガス制御ボックス
有機金属6系統、水素化物系3系統、キャリアガス2系統、ベントガス2系統、ダミーライン、パージライン
シリンダーキャビネット
47L (10L) 容器4本立 (ガス3本、窒素1本)
制御装置 操作パネル
標準装備
制御装置 異常表示
標準装備
制御装置 インターロック機能
標準装備
制御装置 自動成長システム
標準装備
制御装置 バックアップ電源
標準装備
制御装置 保安装置
標準装備
型番
SH4001取扱企業
株式会社エピクエストカテゴリ
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成膜装置の製品93点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
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商品画像 | 価格 (税抜) | リアクタ形状 | 基板 (ウエハ) サイズ×枚数 | ウエハ面 | 最高加熱温度 | 基板回転機構 | 基板加熱 | プロセス排気 | 投入室 排気システム | 投入室 基板保管機構 (3枚ストック) | 輸送機構 | ガス制御ボックス | シリンダーキャビネット | 制御装置 操作パネル | 制御装置 異常表示 | 制御装置 インターロック機能 | 制御装置 自動成長システム | 制御装置 バックアップ電源 | 制御装置 保安装置 |
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要見積もり | 横型ステンレスリアクタ | φ4インチ×1枚 | フェイスアップ | 1,300℃ (制御用熱電対値) | 0~30rpm | 抵抗加熱方式 | ロータリーポンプ (ドライポンプはオプション対応) |
ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ ※ドライポンプはオプション対応 |
標準装備 | トランスファーロッド式またはレール式 | 有機金属6系統、水素化物系3系統、キャリアガス2系統、ベントガス2系統、ダミーライン、パージライン | 47L (10L) 容器4本立 (ガス3本、窒素1本) | 標準装備 | 標準装備 | 標準装備 | 標準装備 | 標準装備 | 標準装備 |
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