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対応Wfサイズ
φ3″~200mm
チャンバー数
1個
チャンバー機能
片面スクラブスピン乾燥
LD-UnLD マニュアル
マニュアル
フットプリント (mm)
W1,000xD700xH1,450
対応アプリケーション
CMP／MEMS／CMP部材評価
型番
MAT-ZAB-8S1M取扱企業
北川グレステック株式会社カテゴリ
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洗浄装置の製品761点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 対応Wfサイズ | チャンバー数 | チャンバー機能 | LD-UnLD マニュアル | フットプリント (mm) | 対応アプリケーション |
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要見積もり | φ3″~200mm | 1個 | 片面スクラブスピン乾燥 | マニュアル | W1,000xD700xH1,450 | CMP／MEMS／CMP部材評価 |
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使用用途がウエハ洗浄の製品
洗浄装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄洗浄方式
超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄洗浄媒体
水系洗浄型 溶剤洗浄型搬送方式
バッチ型 インライン型乾燥方式
温風乾燥型 真空乾燥型消費電力 kW
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500電源電圧 V
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260タンク容量
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500洗浄液
アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤対象ワーク
ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根駆動方式
ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送
