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半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M-北川グレステック株式会社

MAT-ZAB-8S1M | 半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M
北川グレステック株式会社

全型番で同じ値の指標

対応Wfサイズ

φ3″~200mm

チャンバー数

1個

チャンバー機能

片面スクラブスピン乾燥

LD-UnLD マニュアル

マニュアル

フットプリント (mm)

W1,000xD700xH1,450

対応アプリケーション

CMP／MEMS／CMP部材評価

この製品について

■製品情報

試験・量産用のCMP装置を、ウェハサイズに合わせてご案内しております。また、お客様のご要望に応じたオーダーメイドも承っております。弊社テクニカルセンターで実機をご覧いただけます。

■特徴

・最大φ8 インチ対応 。 ・片面ブラシスクラブ洗浄 DIW+薬液ライン 酸性・アルカリ性の薬液に対応 ・コンパクトな1 チャンバー構成で、自動運転にて乾燥まで対応

  • 型番

    MAT-ZAB-8S1M

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半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M MAT-ZAB-8S1Mの性能表

商品画像 価格 (税抜) 対応Wfサイズ チャンバー数 チャンバー機能 LD-UnLD マニュアル フットプリント (mm) 対応アプリケーション
半導体製造装置 洗浄 (ポストCMP) 装置 MAT-ZAB-8S1M-品番-MAT-ZAB-8S1M 要見積もり φ3″~200mm 1個 片面スクラブスピン乾燥 マニュアル W1,000xD700xH1,450 CMP／MEMS／CMP部材評価

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北川グレステック株式会社

会社概要


北川グレステック株式会社は、システム精工(株)とケメット・ジャパン(株)の2社が合併して誕生いたしました。
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  • 本社所在地: 千葉県

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