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半導体製造装置 IPA蒸気乾燥装置-株式会社渡辺商行

IPA蒸気乾燥装置 | 半導体製造装置 IPA蒸気乾燥装置
株式会社渡辺商行

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装置サイズ (スタンドアローン型) (mm)

800 (W) x 900 (D) x 950 (H)

ユーティリティ

三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水

主要安全設備

CO2消火装置、IPAガス濃度計

この製品について

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。

■特徴

・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 ・ウォーターマークフリー ・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 ・微細パターンへ対応可能 ・高スループット対応

■用途

シリコンウェハ/MEMS/ハードディスク乾燥

  • 型番

    IPA蒸気乾燥装置

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半導体製造装置 IPA蒸気乾燥装置 IPA蒸気乾燥装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) 装置サイズ (スタンドアローン型) (mm) ユーティリティ 主要安全設備
半導体製造装置 IPA蒸気乾燥装置-品番-IPA蒸気乾燥装置 要見積もり 800 (W) x 900 (D) x 950 (H) 三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水 CO2消火装置、IPAガス濃度計

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都

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