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・VE-2013はVE-2030 (弊社製) のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。 ・TMPを筐体内に内蔵したコンパクトな筐体を実現。デスクトップ型なので設置場所を取り ません (RPは床置き) 。 ・小型TMP＋RPの排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。 ・排気操作はタッチパネルスイッチのON／OFFのみで全自動制御。 ・タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。 ・カーボン蒸着はφ0.5mmの専用カーボンを蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用。 (φ5mmカーボンロッドは使用出来ません。)
ヒーター電極
1対(2対タイプはオプション)
蒸着対象金属
金・アルミ・クロム・銀・カーボンその他
試料ステージ
直径72mm
蒸着源－試料間隔
0mm~140mm
チャンバーサイズ
内径160mmｘ深さ235mm
電極間電圧/電流
AC15Ｖ、0~30Aタッチパネル表示
排気系
TMP67ℓ/sec＋RP50ℓ/min
真空度測定
タッチパネル表示フルレンジ真空計
到達真空度
5×10-4Pa以下
安全対策
系統別サーキットプロテクタ、過剰負荷を自動でブロック
装置サイズ
W428×D430×H550(mm)38Kg
電源
単層AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用
型番
VE-2013取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年6月3日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で丁寧なご対応を頂きました。感謝申し上げます。
初回対応までの時間への満足度
44.35時間
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蒸着装置の製品135点中、注目ランキング上位6点
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何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ヒーター電極 | 蒸着対象金属 | 試料ステージ | 蒸着源－試料間隔 | チャンバーサイズ | 電極間電圧/電流 | 排気系 | 真空度測定 | 到達真空度 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
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要見積もり | 1対(2対タイプはオプション) | 金・アルミ・クロム・銀・カーボンその他 | 直径72mm | 0mm~140mm | 内径160mmｘ深さ235mm | AC15Ｖ、0~30Aタッチパネル表示 | TMP67ℓ/sec＋RP50ℓ/min | タッチパネル表示フルレンジ真空計 | 5×10-4Pa以下 | 系統別サーキットプロテクタ、過剰負荷を自動でブロック | W428×D430×H550(mm)38Kg | 単層AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用 |
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使用用途が超高真空の製品
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜蒸着方式
抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型成膜環境
真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型蒸着材料供給方式
単発源型 多元源型特徴機能
自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
