VPC-1100 | 高速型真空蒸着装置 VPC-1100
アルバック販売株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

228.6時間

全型番で同じ値の指標

到達圧力

4.0×10-4Pa 1.3×10-4Pa (液体窒素使用時)

排気時間

4.0×10-3Pa/10min 10-4Pa/10min (液体窒素使用時)

真空槽

ガラスベルジャー (内径φ390mm×高さ350mm)

フィードスルカラー

20ポート (側面14/底面6)

基板推奨サイズ・最大サイズ※1

□50mm ・ □220mm (Max) ※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

蒸発電極構成

3点式

蒸発電源・数量

SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A (Max)

メインポンプ※2

油拡散ポンプ (水冷) 1,100L/sec ※2：ターボ分子ポンプ (TMP) 仕様にアレンジいたします。

液体窒素トラップ

有り

補助ポンプ

油回転真空ポンプ 200L/min、2台

オイルミストトラップ

オプション

メインバルブ

バタフライバルブ

補助バルブ

三方向バルブ

自動リークバルブ

オプション

操作

手動

ピラニ真空計

GP-1G

電離真空計

オプション

本体最大寸法

1,235mm (W) ×836mm (D) ×2,155mm (H)

電源最大寸法

装置本体収納

本体質量

313kg

電源質量

装置本体収納

本体

200V 3相 50/60Hz 5.0kVA 100V 単相 50/60Hz 1.0kVA

アース端子

D種 (接地抵抗値 100Ω以下)

本体 3φ200V

ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m

本体 1φ100V

ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m

所要水量

1.5 L／min　 (水温：20~25℃、水圧：200kPa (ゲージ圧) )

取り合い (ソケット)

Rp1/4 (カンタッチ継手付)

推奨ホース※

テトロンブレードホース (内径9mm×外径15mm) ※冷却水配管は、お客様にて準備願います。

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この製品について

■水冷式油拡散ポンプ (1,100L/sec) ＋油回転真空ポンプ架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

■特長・キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
・アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
・ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
・メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
・蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
・EB仕様への変更で高融点材料の成膜が可能です。
・RoHS対応

型番
VPC-1100

シリーズ
高速型真空蒸着装置 VPC-1100

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

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高速型真空蒸着装置 VPC-1100 VPC-1100の性能表

商品画像	価格 (税抜)	到達圧力	排気時間	真空槽	フィードスルカラー	基板推奨サイズ・最大サイズ※1	蒸発電極構成	蒸発電源・数量	メインポンプ※2	液体窒素トラップ	補助ポンプ	オイルミストトラップ	メインバルブ	補助バルブ	自動リークバルブ	操作	ピラニ真空計	電離真空計	本体最大寸法	電源最大寸法	本体質量	電源質量	本体	アース端子	本体 3φ200V	本体 1φ100V	所要水量	取り合い (ソケット)	推奨ホース※
	要見積もり	4.0×10-4Pa 1.3×10-4Pa (液体窒素使用時)	4.0×10-3Pa/10min 10-4Pa/10min (液体窒素使用時)	ガラスベルジャー (内径φ390mm×高さ350mm)	20ポート (側面14/底面6)	□50mm ・ □220mm (Max) ※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。	3点式	SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A (Max)	油拡散ポンプ (水冷) 1,100L/sec ※2：ターボ分子ポンプ (TMP) 仕様にアレンジいたします。	有り	油回転真空ポンプ 200L/min、2台	オプション	バタフライバルブ	三方向バルブ	オプション	手動	GP-1G	オプション	1,235mm (W) ×836mm (D) ×2,155mm (H)	装置本体収納	313kg	装置本体収納	200V 3相 50/60Hz 5.0kVA 100V 単相 50/60Hz 1.0kVA	D種 (接地抵抗値 100Ω以下)	ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m	ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m	1.5 L／min　 (水温：20~25℃、水圧：200kPa (ゲージ圧) )	Rp1/4 (カンタッチ継手付)	テトロンブレードホース (内径9mm×外径15mm) ※冷却水配管は、お客様にて準備願います。