AM-645SB | 薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置
神港精機株式会社
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排気系 / 排気時間
操作方法
操作方法 / 成膜動作
操作方法 / 排気動作
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型番
AM-645SB
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シリーズ
薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置
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取扱企業
神港精機株式会社
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蒸着装置の製品30点中、注目ランキング上位6点
薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置 AM-645SBの性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 成膜系 / 処理量 | 成膜系 / 基板加熱 | 成膜系 / 膜厚分布 | 成膜系 / 蒸発方式 | 排気系 / 主ポンプ | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 操作方法 / 成膜動作 | 操作方法 / 排気動作 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 要見積もり | ¢4インチ × 6枚 | 350℃ | ±10% | 電子銃 | 油拡散ポンプ | ×10-⁵Pa台 | ×10-⁴Pa台まで20分以内 | 手動 | 自動 |
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