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ウェハ用機器 リングフレーム再使用の省人化に 全自動リングクリーナー RC-250-イーアールエス株式会社

RC-250 | ウェハ用機器 リングフレーム再使用の省人化に 全自動リングクリーナー RC-250
イーアールエス株式会社

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対象ウェハサイズ

Φ6インチ

適用テープ

UVテープ

テープフレーム

MODTF2-6-1

洗浄液

IPA及びMEK

適用ワイパー

ベンリーゼ TS-100 ロールタイプ

処理能力 (参考値)

約30秒 / 枚

外径寸法

幅1,800×奥行き1,100×高さ2,140mm

ユーティリティ

ドライエア (0.4MPa以上)

重量

750kg

供給源

三相 AC200V

この製品について

■概要

良品チップを取除いたリングフレームからダイシングテープを剝し、リングフレームの表面を拭き、洗浄後、向きを揃え回収エリアに段積みする全自動装置です。

■特長

・カセットをセット後スイッチONでテープ剝し∼洗浄∼収納まで全自動で行います ・リングフレームの位相出し、反り検知、整列も自動で行います ・使用テープによって最適な洗浄条件を設定できます ・剝したダイシングテープは専用Boxに収納します。装置裏側から引出して処分します

■ポイント

・補助作業であるテープ剝し作業を全自動で行うことで大きな省人効果が得られます ・人による作業と比較し、有機溶剤の取扱い頻度が大幅に減り、安全衛生面で有効です

  • 型番

    RC-250

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ウェハ用機器 リングフレーム再使用の省人化に 全自動リングクリーナー RC-250 RC-250の性能表

商品画像 価格 (税抜) 対象ウェハサイズ 適用テープ テープフレーム 洗浄液 適用ワイパー 処理能力 (参考値) 外径寸法 ユーティリティ 重量 供給源
ウェハ用機器 リングフレーム再使用の省人化に 全自動リングクリーナー RC-250-品番-RC-250 要見積もり Φ6インチ UVテープ MODTF2-6-1 IPA及びMEK ベンリーゼ TS-100 ロールタイプ 約30秒 / 枚 幅1,800×奥行き1,100×高さ2,140mm ドライエア (0.4MPa以上) 750kg 三相 AC200V

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