PHT株式会社

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。これまでシリコンウェーハ向...

• 半導体製造

• 半導体洗浄装置

■装置開発背景 半導体用基板として最も多く使用されているのはSi基板 (シリコンウェーハ) である。近年では、パワー半導体用基板としてS...

• 洗浄剤・装置

• 洗浄装置

半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。 洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40％を占め...

• 洗浄剤・装置

• 洗浄装置

■概要 高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過...

2種類の品番

• 搬送器具・装置

• 搬送装置

クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。 前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能で...

• ロボット

• クリーンロボット

次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タ...

• 搬送器具・装置

• 搬送装置

本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 使用するカセットは、Ｆ...

• 搬送器具・装置

• 搬送装置

本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは...

• 搬送器具・装置

• 搬送装置

■製品特徴 本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ...

■製品特徴 次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用...

■製品特徴 本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～18...