会社概要
特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。
事業内容
＜半導体搬送システム事業 ＞
■半導体用ウェーハ搬送ロボットシステム、レーザ応用システムなど関連装置の開発設計・製造・販売
■液晶用ガラス基板搬送ロボットシステム、レーザ応用システムなど関連装置の開発設計・製造・販売
＜半導体洗浄装置事業 ＞
■ウェーハ自動剥離装置
■ウェーハ自動洗浄装置
ワイヤーソー後洗浄、ラップ後洗浄、アルカリエッチング洗浄、 熱処理前洗浄、熱処理後洗浄、研磨後洗浄、FINAL洗浄 など関連装置の開発設計・製造・販売
主要取引先
半導体・液晶デバイスメーカー
PHT株式会社の取り扱い製品
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9 点の製品がみつかりました
9 点の製品
PHT株式会社
ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）PWD2020
840人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。これまでシリコンウェーハ向...
PHT株式会社
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
770人以上が見ています
半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。 洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40％を占め...
PHT株式会社
EFEM・ソータ
420人以上が見ています
■概要 高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過...
2種類の品番
PHT株式会社
ウェーハ搬送ロボット
360人以上が見ています
クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。 前後 (X軸) ・旋回 (θ軸) ・上下 (Z軸) +ハンド回転 (0～180°) の動作が可能で...
PHT株式会社
ウェーハ搬送装置
250人以上が見ています
次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タ...
PHT株式会社
石英ガラスウェーハ移載装置
200人以上が見ています
本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 使用するカセットは、Ｆ...
PHT株式会社
ウェーハカセットチェンジャー
190人以上が見ています
本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは...
PHT株式会社
SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置
■装置開発背景 半導体用基板として最も多く使用されているのはSi基板 (シリコンウェーハ) である。近年では、パワー半導体用基板としてS...
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PHTのカタログ 7件
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- 全てのカテゴリ
- 洗浄装置
- 半導体製造装置
- 搬送ロボット
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- 搬送システム
- 半導体洗浄装置
ウェーハ自動剥離装置
カタログ概要
半導体製造には，非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる．当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ自動剥離装置も，そのような要求に...
タグ付けカテゴリ
洗浄装置 半導体製造装置 半導体洗浄装置2023年11月28日
バッチ式自動洗浄装置
カタログ概要
１：ラップ後洗浄装置：ラッピング砥粒除去（アルカリ+界面を主にした洗浄です）。２：アルカリエッチング洗浄装置：グラインディング後の加工歪を除去するこ...
タグ付けカテゴリ
洗浄装置 半導体製造装置 半導体洗浄装置2023年11月28日
ウェーハ搬送ロボット
カタログ概要
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）+ハンド回転（0～180°）の動作が可能でウエハの大気...
タグ付けカテゴリ
搬送ロボット 自動搬送装置 搬送システム2023年11月28日
ウェーハカセットチェンジャー
カタログ概要
本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。使用するカセットは、6枚入カセット・13枚...
タグ付けカテゴリ
搬送ロボット 自動搬送装置 搬送システム2023年11月28日
ウェーハ搬送装置
カタログ概要
クリーンロボットを応用したシステムです。300mmのウェーハを１枚単位で、カセット（容器）Ａ～Ｂへ搬送します。対応するカセット（容器）は、FOUP ・ FOSB ...
タグ付けカテゴリ
搬送ロボット 自動搬送装置 搬送システム2023年11月28日
EFEM・ソータ
カタログ概要
高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年...
タグ付けカテゴリ
搬送ロボット 自動搬送装置 搬送システム2023年11月28日
石英ガラスウェーハ移載装置
カタログ概要
本装置は、φ300mm(12″)石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。
タグ付けカテゴリ
搬送ロボット 自動搬送装置 搬送システム2023年11月28日
事業所情報
PHT株式会社の支社、生産・加工施設、事業所が全国で4箇所登録されています。
支社
大阪府でPHT株式会社の支社が1箇所登録されています。
大阪支社 支社
〒532-0011 大阪府大阪市淀川区西中島4丁目5-1 NLC新大阪パワービル7-E生産・加工施設
群馬県でPHT株式会社の生産・加工施設が2箇所登録されています。
大泉工場 生産・加工施設
〒370-0535 群馬県邑楽郡大泉町寄木戸1250-1伊勢崎工場 生産・加工施設
〒372-0014 群馬県伊勢崎市昭和町25-5事業所
埼玉県でPHT株式会社の事業所が1箇所登録されています。
熊谷事業所 事業所
〒360-0816 埼玉県熊谷市石原711-2事業所情報について
事業所はMetoreeに登録されているもののみが表示されています。PHT株式会社の製品カテゴリ
PHT株式会社の製品が2件登録されています。
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注目ランキングは、2024年10月のPHT株式会社のMetoreeページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の各ページでの全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。また、製品はMetoreeに登録されているもののみが表示されています。