搬送装置注目ランキング
搬送装置の製品43点中、注目ランキング上位6点
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EFEM・ソータ 品番2件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 搬送対象 | キャリア | 電源電圧 | 消費電流 | 真空 (元圧) | 真空 (流量) | 正圧 (元圧) | 正圧 (流量) | EMO接点出力 | インターロック |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
TYK2102-2 |
要見積もり | 2ポート | 300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm |
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) 300mm FOSB 25段 (SEMI M31) |
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む | -80kPa~-90kPa | 40L/min | 0.6MPa~0.7MPa | 20L/min | 2系統 (ドライ接点) | 入力8点/出力8点 (絶縁I/O) | |
|
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TYK2102-3 |
要見積もり | 3ポート | 300mmウェーハ径：Φ300±0.2mm 厚み：775μm |
300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) 300mm FOSB 25段 (SEMI M31) |
単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む | -80kPa~-90kPa | 50L/min | 0.6MPa~0.7MPa | 30L/min | 2系統 (ドライ接点) | 入力8点/出力8点 (絶縁I/O) |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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