ウェーハ搬送装置 PHT株式会社
この製品について
■概要
・クリーンロボットを応用したシステムです。 ・300mmのウェーハを1枚単位で、カセット (容器) A～Bへ搬送します。 ・対応するカセット (容器) は、FOUP ・ FOSB ・ OPEN ・ PFAです。 ・1枚単位の搬送が標準ですが、5枚単位 ・ 25枚単位の搬送も対応可能です。 ・カセット間でウェーハを安全に一括搬送 ・ スロット指定搬送 (同一キャリア内搬送可) 致します。 ・カセットからウェーハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防ぎます。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、非常ボタン付。■特徴
・省スペース ・静電気対策型 ・光及び機械センサーでエラーを監視 ・マッピングセンサー付き ・FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応 ・クラス10クリーンルーム対応-
シリーズ
ウェーハ搬送装置
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取扱企業
PHT株式会社
搬送装置注目ランキング
搬送装置の製品43点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
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搬送装置注目ランキング (対応の早い企業)
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
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ウェーハ搬送装置 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ワーク | 装置重量 | ワーク厚さ | ワークサイズ | 電源 | カセット (容器) | スループット | 駆動方式 | 搬送単位 | 装置サイズ | 安全機構 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PWT2020 |
要見積もり | 半導体基板 | 約500kg | 600~850μm | 300mm | AC200V,15A | FOUP・FOSB・OPEN・PFA | 25枚/1カセット搬送時間 300秒以下 | モーター駆動 (サーボ) | 1枚単位 ・ 5枚単位 ・ 25枚単位 | W1,000×D1,400×H1,800mm |
カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、 異常警報、非常停止 |
静電気除去装置 (イオナイザー) ・全面カバー・エリアセンサーIDリーダー・アライメント・ウェーハ反転など |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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