ウェーハ搬送装置 (PHT株式会社) のカタログ情報
ウェーハ搬送装置
製品個別カタログ
カタログ紹介
クリーンロボットを応用したシステムです。
300mmのウェーハを１枚単位で、カセット（容器）Ａ～Ｂへ搬送します。
対応するカセット（容器）は、FOUP ・ FOSB ・ OPEN ・ PFAです。
1枚単位の搬送が標準ですが、5枚単位 ・ 25枚単位の搬送も対応可能です。
カセット間でウェーハを安全に一括搬送 ・ スロット指定搬送（同一キャリア内搬送可）致します。
カセットからウェーハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防ぎます。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、非常ボタン付。
300mmのウェーハを１枚単位で、カセット（容器）Ａ～Ｂへ搬送します。
対応するカセット（容器）は、FOUP ・ FOSB ・ OPEN ・ PFAです。
1枚単位の搬送が標準ですが、5枚単位 ・ 25枚単位の搬送も対応可能です。
カセット間でウェーハを安全に一括搬送 ・ スロット指定搬送（同一キャリア内搬送可）致します。
カセットからウェーハを持ち上げてロード／アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防ぎます。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、非常ボタン付。
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