PHTの搬送装置
PHTの搬送装置注目ランキング
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5 点の製品がみつかりました
PHT株式会社
ウェーハ搬送装置
90人以上が見ています
次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このた...
PHT株式会社
ウェーハカセットチェンジャー
100人以上が見ています
本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13...
PHT株式会社
EFEM・ソータ
110人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
■概要 高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動してい...
2種類の品番
PHT株式会社
石英ガラスウェーハ移載装置
90人以上が見ています
本装置は、石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 使用するカセットは、ＦＯＵＰ・ＦＯＳＢキャ...
