株式会社安川電機
株式会社不二越
株式会社デンソーウェーブ
株式会社ダイヘン
川崎重工業株式会社
伊藤忠マシンテクノス株式会社
ヤマハ発動機株式会社

【2021年版】クリーンロボット5選 / メーカー11社一覧

クリーンロボットのメーカー11社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


クリーンロボットとは

クリーンロボットとは,クリーン・ルーム内で使用することができるロボットです.クリーン・ルーム内で使用しても室内の清浄度が一定値以上であることが保証されているロボットと言い換えることもできます.

製品によって様々な構造のクリーンロボットが存在するため,用途に応じて使い分けることが可能です.

従来は作業員が入室することによってどうしても一定値以上の清浄度とすることができない場合においても,クリーンロボットを使用することで室内の作業を自動化することが可能となるため,作業員が入ることなく高い清浄度を維持したまま製品生産を行うことが可能となります.

クリーンロボットの使用用途

クリーンロボットは従来クリーン・ルーム内で作業員が実行していた作業の代替として使用されます.

食品業界など比較的単純な作業が多い現場では,単にクリーン・ルーム内でも使用できる省人化装置として使用されル場合が多くあります.一方で高い清浄度のもとでの生産が要求される半導体製造分野においては,クリーンロボットを使用することで作業員がクリーン・ルームに入室する必要が無くなり,従来よりも高い清浄度のもとで高品質な製品を生産するために使用されている側面もあります.

クリーンロボットの特徴

食品や半導体材料を扱うクリーン・ルームは外部の空間から仕切られた空間となっており,使用するエアーフィルタの性能や数、空調設備の位置や能力などの設計段階で保証可能な清浄度がクラス化されて規定されています.クラスが小さいほど保証される清浄度も高く,半導体製造向上ではclass100,食品を扱う工場ではclass1000~10000程度となります.

この規定された清浄度を下回ってしまうと品質管理や品質保証上問題が発生するために,クリーン・ルーム内には原則そのclassに対応した機器しか設置することができません.ロボットを含む一般的な機械は摺動部のグリスやモーターなどの発塵により清浄度を低下させてしまうため,クリーン・ルームには対応していません.

これに対して,クリーンロボットは摺動部に磁性流体シールを使用するなどして発塵しないような設計となっており,class100以下(製品によってclass1まで)に対応しているため,ルーム内でも清浄度が低下する心配無く使用することができます. 

参考文献
https://www.meikikou.co.jp/clean_flow_system/clean_robot.html
https://robotics.kawasaki.com/ja1/products/robots/clean/
https://www.yamaha-motor.co.jp/robot/lineup/clean/pdf/index/clean-catalog_feature.pdf 

クリーンロボットのメーカー情報

クリーンロボットのメーカー11社一覧


クリーンロボットのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 川崎重工業株式会社
  2. 2 株式会社安川電機
  3. 3 ヤマハ発動機株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 directindustry
  2. 2 株式会社ジェーイーエル
  3. 3 株式会社デンソーウェーブ

歴史のある会社

  1. 1 川崎重工業株式会社
  2. 2 株式会社安川電機
  3. 3 株式会社ダイヘン

クリーンロボット5選

SEMISTAR-GEKKO MD124D

株式会社安川電機 SEMISTAR-GEKKO MD124D 画像出典: 株式会社安川電機公式サイト

特徴

SEMISTAR-GEKKO MD124Dは、5軸水平多関節型のクリーンロボットで、主な用途として半導体ウエハや、太陽電池、有機EL、液晶用のガラス基板などの搬送作業を行うために使用されています。

特徴として、従来型と比較して、振動を1/6に低減し、位置決め精度が2倍に向上するなど、高い精度と安定性を誇っています。

また、駆動方式には、Σ-7 シリーズの直流サーボモータに使用されているダイレクトドライブモータを搭載しています。

株式会社安川電機の会社概要

  • 会社所在地: 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号
  • URL: https://www.yaskawa.co.jp/
  • 創業: 1915年
  • 従業員数: 15,179人

製品を見る

クリーンロボット

株式会社メイキコウ

特徴

株式会社メイキコウのクリーンロボットは、液晶基板用はクラス10、ウエーハ用はクラス1の清浄度を実現しており、3軸あるいは4軸で、X軸方向に多関節機構を採用しています。

主な用途として、半導体ウエーハや液晶パネルなどの分野において、クリーンルーム内の製造や検査工程で、ハンドリング動作を行うために使用されています。

特徴としてアーム内にケーブルを内蔵しているので、配線や配管が外にむき出しになることがなく、小型でスリムな本体を実現しており、滑らかな動作をすることができます。

株式会社メイキコウの会社概要

製品を見る

産業用ロボット Robotics 垂直多関節 VP-5243/6242

株式会社デンソーウェーブ 産業用ロボット Robotics 垂直多関節 VP-5243/6242 画像出典: 株式会社デンソーウェーブ公式サイト

特徴

VP-5243/6242は、コンパクトな設計のクリーンロボットで床置き設置と天吊り設置が可能なため、主な用途として、製造現場などにおけるクリーンルーム内の設置場所が限られている場所で使用するのに適しています。

5軸タイプと多方向の作業を行える6軸タイプをそろえており、様々な要望に応えることが可能です。

設置面積ははがき2枚程度の非常に小型設計で、機器本体も非常に軽量であるため、持ち運びなども容易で、自在なレイアウトと省スペース化を実現できます。

株式会社デンソーウェーブの会社概要

  • 会社所在地: 愛知県知多郡阿久比町大字草木字芳池1番
  • URL: https://www.denso-wave.com/
  • 創業: 1976年
  • 従業員数: 1,241人

製品を見る

ACTRANS

株式会社ダイヘン ACTRANS 画像出典: 株式会社ダイヘン公式サイト

特徴

ACTRANSシリーズは、ウエハ搬送のクリーンロボットであり、半導体の製造分野に特化したモデルです。

機器の主な用途として、半導体の製造現場であるクリーンルーム内などで、搬送を行うために使用されています。

高い信頼性を誇り、FPD搬送ロボットで培った技術を用いて、滑らかで精度の高い動作を可能にしています。

大気ロボットと真空ロボットの2種類があり、使用環境と用途に合わせて選択することができます。

株式会社ダイヘンの会社概要

  • 会社所在地: 大阪府大阪市淀川区田川2丁目1番11号
  • URL: https://www.daihen.co.jp/
  • 創業: 1919年
  • 従業員数: 3,876人

製品を見る

NTS10シングルアーム

川崎重工業株式会社 NTS10シングルアーム 画像出典: 川崎重工業株式会社公式サイト

特徴

NTS10は、水平多関節型のNTSシリーズのシングルアームのクリーンロボットです。

NTSシリーズの特徴は、2FOUPから3FOUPまでのEFEMに1台のロボットで、走行装置の必要なく対応することができる点と、独自駆動機構による精度と剛性の高いスムーズな動作を行える点です。

SEMI-F47規格と、SEMI-S2規格に対応し、環境や安全面が考慮されています。

主な用途として、高度な清潔維持が要求される半導体やソーラーパネル、電子部品などの製造を行うクリーンルームにおいて使用されています。

川崎重工業株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都港区海岸1丁目14-5
  • URL: http://www.khi.co.jp/
  • 創業: 1896年
  • 従業員数: 36,332人

製品を見る

関連記事

カテゴリから探す