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リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800-NISON ® 1800
リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800-タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800
タツモ株式会社

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この製品について

NISON®1800は、熱リン酸による窒化膜エッチングに必要不可欠な装置として長年に渡り半導体業界で広く採用されてきました。その機能は、多くのユーザーより高い評価を受けています。窒化膜エッチングのメカニズム解析を積極的に進め、従来の経験的なエッチン グからデジタル化された制御となり、熱リン酸プロセスにおけるデファクトスタンダードとなっています。

■製品特徴

・フィールドで長年実証されてきたプロセス性能です。 ・処理槽の沸騰制御により、安定的に高いエッチングレートを維持します。 ・2つの処理槽に対応するデュアルタイプもラインナップしています。

  • シリーズ

    リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800

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リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800 品番1件

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タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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