塗布・現像装置 CSXシリーズ
タツモ株式会社
この製品について
■製品特徵
・プラットホーム CSX2000シリーズは、カセットtoカセットで150mm~200mmウェハーに対応可能な、全自動で被膜形成/現像が出来る処理装置です。 (装置サイズ、レイアウトは都度変わります) さらに、プロセスユニットを自由にレイアウトできる設計のため、お客様のプロセスやスペースにも柔軟に対応できます。 ・プロセスユニット コータ 塗布プロセスに対して、スピンコート部/ ベークプレート部の組み合わせによる汎用コータの構成から、回転カップ部/スピンレスコート部等を組み合わせた特殊コータの構成まで対応可能で、数μm~100μmの膜厚形成が可能です。 デベロッパ 現像プロセスに対して、高速現像ユニットを準備しています。厚膜レジストの長時間現像を高速で処理します。 (従来比1/2~1/3) ・操作性 GUI画面による優れた操作性を実現、複雑なレシピ編集も簡単に行えます。 研究開発用から量産用までを考慮したシステム構成が一段と機能性を向上させます。-
シリーズ
塗布・現像装置 CSXシリーズ
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取扱企業
タツモ株式会社
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カテゴリ
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塗布・現像装置 CSXシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適用ワーク | 制御方法 | 電源仕様 |
|---|---|---|---|---|---|
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CSX2000 |
要見積もり | 150mm~200mmウェーハ | デスクトップ型パソコンシステムによる一括制御 | 3ΦAC200V 50/60Hz |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
