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塗布・現像装置 CSXシリーズ-CSX2000
塗布・現像装置 CSXシリーズ-タツモ株式会社

塗布・現像装置 CSXシリーズ
タツモ株式会社

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この製品について

CSX2000シリーズは、装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、研究開発向けから量産ラインまで幅広い対応を実現したコータ/デベロ ッパです。特に厚膜プロセスに対しては、高性能なプロセスユニットを用意しています。装置の構成にあたっては、必要な被膜形成処理内容、工程能力に応じた処理ユニットを、ユニット単位で必要な数だけ選択、構成でき るクラスタシステムを採用いたしました。

■製品特徵

・プラットホーム CSX2000シリーズは、カセットtoカセットで150mm~200mmウェハーに対応可能な、全自動で被膜形成/現像が出来る処理装置です。 (装置サイズ、レイアウトは都度変わります) さらに、プロセスユニットを自由にレイアウトできる設計のため、お客様のプロセスやスペースにも柔軟に対応できます。 ・プロセスユニット コータ 塗布プロセスに対して、スピンコート部/ ベークプレート部の組み合わせによる汎用コータの構成から、回転カップ部/スピンレスコート部等を組み合わせた特殊コータの構成まで対応可能で、数μm~100μmの膜厚形成が可能です。 デベロッパ 現像プロセスに対して、高速現像ユニットを準備しています。厚膜レジストの長時間現像を高速で処理します。 (従来比1/2~1/3) ・操作性 GUI画面による優れた操作性を実現、複雑なレシピ編集も簡単に行えます。 研究開発用から量産用までを考慮したシステム構成が一段と機能性を向上させます。

  • シリーズ

    塗布・現像装置 CSXシリーズ

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塗布・現像装置 CSXシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 適用ワーク 制御方法 電源仕様
塗布・現像装置 CSXシリーズ-品番-CSX2000

CSX2000

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この商品の取り扱い会社情報

タツモ株式会社

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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