全てのカテゴリ

閲覧履歴

  1. Metoree
  2. エッチング装置
  3. 塗布・現像装置 CSXシリーズ (タツモ)
塗布・現像装置 CSXシリーズ-CSX2000
塗布・現像装置 CSXシリーズ-タツモ株式会社

塗布・現像装置 CSXシリーズ
タツモ株式会社

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

CSX2000シリーズは、装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、研究開発向けから量産ラインまで幅広い対応を実現したコータ/デベロ ッパです。特に厚膜プロセスに対しては、高性能なプロセスユニットを用意しています。装置の構成にあたっては、必要な被膜形成処理内容、工程能力に応じた処理ユニットを、ユニット単位で必要な数だけ選択、構成でき るクラスタシステムを採用いたしました。

■製品特徵

・プラットホーム CSX2000シリーズは、カセットtoカセットで150mm~200mmウェハーに対応可能な、全自動で被膜形成/現像が出来る処理装置です。 (装置サイズ、レイアウトは都度変わります) さらに、プロセスユニットを自由にレイアウトできる設計のため、お客様のプロセスやスペースにも柔軟に対応できます。 ・プロセスユニット コータ 塗布プロセスに対して、スピンコート部/ ベークプレート部の組み合わせによる汎用コータの構成から、回転カップ部/スピンレスコート部等を組み合わせた特殊コータの構成まで対応可能で、数μm~100μmの膜厚形成が可能です。 デベロッパ 現像プロセスに対して、高速現像ユニットを準備しています。厚膜レジストの長時間現像を高速で処理します。 (従来比1/2~1/3) ・操作性 GUI画面による優れた操作性を実現、複雑なレシピ編集も簡単に行えます。 研究開発用から量産用までを考慮したシステム構成が一段と機能性を向上させます。

  • シリーズ

    塗布・現像装置 CSXシリーズ

この製品を共有する


60人以上が見ています

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

エッチング装置注目ランキング

もっと見る

エッチング装置の製品37点中、注目ランキング上位6点

1 電解エッチングユニット『CEL-03』-トルーソルテック株式会社

電解エッチングユニット『CEL-03』

トルーソルテック株式会社

570人以上が見ています

2 高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

350人以上が見ています

最新の閲覧: 9時間前

3 プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置-神港精機株式会社

プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

神港精機株式会社

350人以上が見ています

4 プラズマ エッチング装置 EXAM-神港精機株式会社

プラズマ エッチング装置 EXAM

神港精機株式会社

330人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

5 プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置-神港精機株式会社

プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置

神港精機株式会社

310人以上が見ています

6 2周波独立印加方式 ドライエッチング装置-ジャパンクリエイト株式会社

2周波独立印加方式 ドライエッチング装置

ジャパンクリエイト株式会社

5.0 企業レビュー

300人以上が見ています

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

塗布・現像装置 CSXシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 適用ワーク 制御方法 電源仕様
塗布・現像装置 CSXシリーズ-品番-CSX2000

CSX2000

要見積もり

150mm~200mmウェーハ

デスクトップ型パソコンシステムによる一括制御

3ΦAC200V 50/60Hz

この商品を見た方はこちらもチェックしています

プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置-神港精機株式会社

プラズマ処理装置 ICPメタル エッチング装置

神港精機株式会社

310人以上が見ています

エッチング装置
プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置-神港精機株式会社

プラズマ処理装置 マルチチャンバ ICP エッチング装置

神港精機株式会社

350人以上が見ています

エッチング装置

4種類の商品があります

塗布・現像装置 SPRシリーズ-タツモ株式会社

塗布・現像装置 SPRシリーズ

タツモ株式会社

90人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

エッチング装置

3種類の商品があります

プラズマ エッチング装置 EXAM-神港精機株式会社

プラズマ エッチング装置 EXAM

神港精機株式会社

330人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

エッチング装置

4種類の商品があります

小型エッチング装置 AEP-3000S-アクテス京三株式会社

小型エッチング装置 AEP-3000S

アクテス京三株式会社

100人以上が見ています

返答時間: 45.13時間

エッチング装置

2種類の商品があります

ICPプラズマ エッチング装置 SERIO-神港精機株式会社

ICPプラズマ エッチング装置 SERIO

神港精機株式会社

240人以上が見ています

エッチング装置

2種類の商品があります

ウエットライン装置 エッチング剥離ライン-株式会社ファイコーポレーション

ウエットライン装置 エッチング剥離ライン

株式会社ファイコーポレーション

170人以上が見ています

最新の閲覧: 19時間前

エッチング装置

2種類の商品があります

電解エッチングユニット『CEL-03』-トルーソルテック株式会社

電解エッチングユニット『CEL-03』

トルーソルテック株式会社

570人以上が見ています

返答時間: 18.50時間

エッチング装置

2種類の商品があります

低ダメージで平滑な表面が実現 PlasmaPro 100 ALE 原子層エッチングシステム-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

低ダメージで平滑な表面が実現 PlasmaPro 100 ALE 原子層エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

220人以上が見ています

返答時間: 26.30時間

エッチング装置

3種類の商品があります

高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

高速なエッチングレートを実現 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE エッチングシステム

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

350人以上が見ています

最新の閲覧: 9時間前

返答時間: 26.30時間

エッチング装置

3種類の商品があります

DRIEアプリケーション用プラットフォーム PlasmaPro 100 Estrelas DRIE-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

DRIEアプリケーション用プラットフォーム PlasmaPro 100 Estrelas DRIE

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

230人以上が見ています

最新の閲覧: 6時間前

返答時間: 26.30時間

エッチング装置

3種類の商品があります

コンパクトな多様なエッチングとデポジションのソリューション PlasmaPro 80 PECVD-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

コンパクトな多様なエッチングとデポジションのソリューション PlasmaPro 80 PECVD

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

220人以上が見ています

返答時間: 26.30時間

エッチング装置

4種類の商品があります

エッチング装置をもっと見る

タツモの取り扱い製品

半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置-タツモ株式会社

半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置

タツモ株式会社

110人以上が見ています

半導体検査装置

3種類の商品があります

半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWSシリーズ 塗布貼合装置-タツモ株式会社

半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWSシリーズ 塗布貼合装置

タツモ株式会社

150人以上が見ています

半導体検査装置

3種類の商品があります

塗布・現像装置 SPRシリーズ-タツモ株式会社

塗布・現像装置 SPRシリーズ

タツモ株式会社

90人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

エッチング装置

3種類の商品があります

リン酸プロセス装置 リン酸再生装置 PSYRION-タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 リン酸再生装置 PSYRION

タツモ株式会社

100人以上が見ています

洗浄装置

3種類の商品があります

リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置-タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置

タツモ株式会社

80人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

洗浄装置

3種類の商品があります

リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800-タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 リン酸高温循環装置 NISON ® 1800

タツモ株式会社

70人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

洗浄装置

3種類の商品があります

CMPスラリー供給システム スラリー希釈混合 供給システム New MX2000-タツモ株式会社

CMPスラリー供給システム スラリー希釈混合 供給システム New MX2000

タツモ株式会社

70人以上が見ています

材料混合機

3種類の商品があります

CMPスラリー供給システム デュアルエンジン スラリー 希釈混合供給システム iSIS1200J-タツモ株式会社

CMPスラリー供給システム デュアルエンジン スラリー 希釈混合供給システム iSIS1200J

タツモ株式会社

70人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

材料混合機

3種類の商品があります

CMPスラリー供給システム 粉体酸化剤 (APS) 溶解・供給システム-タツモ株式会社

CMPスラリー供給システム 粉体酸化剤 (APS) 溶解・供給システム

タツモ株式会社

80人以上が見ています

材料混合機

3種類の商品があります

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット-タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 大気用クリーンロボット

タツモ株式会社

80人以上が見ています

最新の閲覧: 21時間前

搬送機器

4種類の商品があります

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット-タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット サーボモーター仕様 フリーアクセスロボット

タツモ株式会社

50人以上が見ています

最新の閲覧: 21時間前

搬送機器

3種類の商品があります

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット-タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット

タツモ株式会社

70人以上が見ています

最新の閲覧: 21時間前

搬送機器

3種類の商品があります

タツモの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

タツモ株式会社

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

もっと見る

  • 本社所在地: 岡山県

関連キーワード

エッチング装置
エッチング装置　タツモ
タツモ株式会社
Copyright © 2024 Metoree