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各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
4.5
評判がとても良い
2025年8月7日にレビュー
フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。
初回返答までの時間・1.11時間2025年7月28日にレビュー
返信までのタイムラグがありましたが，返信内容は丁寧でした。
初回返答までの時間・69.57時間| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ルツボ容量 | ルツボ数 |
|---|---|---|---|---|
|
|
EGK-3 |
要見積もり |
3cc |
1 |
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蒸着装置の製品129点中、注目ランキング上位6点
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蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜蒸着方式
抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型成膜環境
真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型蒸着材料供給方式
単発源型 多元源型特徴機能
自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
