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各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ-EGK-3
各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ-アルバック販売株式会社

各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ
アルバック販売株式会社

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■概要

アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。

■用途

電子ビーム蒸着用蒸発源

■特長

・EGK/EGLタイプは、金属蒸着に最適です。 ・EGLタイプは、フィラメント汚染のない270°偏向になっています。 ・EGLタイプは、ルツボの冷却性能が高く、汚染を極力防ぐ構造です。 ・EGOタイプは、高速スイープと垂直入射を備え、酸化物や化合物の蒸着に最適です。

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ

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各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ルツボ容量 ルツボ数
各種電源・ロボット関連 蒸発用EBガン EGK/EGL/EGOシリーズ-品番-EGK-3

EGK-3

要見積もり

3cc

1

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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