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この製品について

■概要

EGP-1Gは、構造のシンプルな180ºビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。

■用途

電子ビーム蒸着用蒸発源

■特長

・180ºビーム偏向方式を採用することにより低コスト ・メンテナンス時に着脱する部品はすべて2面位置決め構造 ・フィラメント交換、エミッタの脱着が容易な構造

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 光学用EBガン EGP-1G

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各種電源・ロボット関連 光学用EBガン EGP-1G 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 電子ビーム偏向角度 冷却水量 外形寸法 (W×D×H) 重量
各種電源・ロボット関連 光学用EBガン EGP-1G-品番-EGP-1G

EGP-1G

要見積もり

180º

10L/min

185mm×239mm×179mm (突起部含まず)

11kg

フィルターから探す

蒸着装置をフィルターから探すことができます

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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