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シリーズ
卓上型／小型真空蒸着装置 VPC-260F取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気時間 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ※1 | 蒸発電極構成 | 蒸発電源・数量 | メインポンプ | 液体窒素トラップ | 補助ポンプ | オイルミストトラップ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | ピラニ真空計 | 電離真空計 | 本体最大寸法 | 電源最大寸法 | 本体質量 | 電源質量 | 所要電気量 本体 | 所要電気量 電源 | アース端子 | 取り合い 本体 1φ100V | 取り合い 電源 1φ200V |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
VPC-260F |
要見積もり |
1.3×10-3Pa |
4.0×10-3Pa/20min |
ガラスベルジャー (内径φ300mm×高さ300mm) |
8ポート (側面8) |
□50mm ・ □140mm (Max) |
1点式 |
SEREM PSE-150C・1 式 |
油拡散ポンプ (空冷) 200L/sec |
有り |
油回転真空ポンプ 100L/min |
オプション |
クラッパーバルブ |
三方向バルブ |
オプション |
手動 |
オプション |
オプション |
530mm (W) ×550mm (D) ×1,135mm (H) |
480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H) |
75kg |
40kg |
100V 単相 50/60Hz 1.35kVA |
200V 単相 50/60Hz 1.5kVA |
D種 (接地抵抗値 100Ω以下) |
ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 2m |
ビニルキャプタイヤケーブル (R2.0-5 圧着端子付) 2m |
