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小型真空蒸着装置 VFR-200M/ERH取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気時間 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ※1 | 蒸発電極構成 | 蒸発電源・数量 | メインポンプ | 液体窒素トラップ | 補助ポンプ | オイルミストトラップ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | ピラニ真空計 | 電離真空計 | 本体最大寸法 | 電源最大寸法 | 本体質量 | 電源質量 | 所要電気量 本体 | 所要電気量 電源 | アース端子 | 取り合い 本体 1φ100V | 取り合い 電源 1φ200V |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
VFR-200M/ERH |
要見積もり |
8.0×10-4Pa |
4.0×10-3Pa/15min |
ガラスベルジャー (内径φ300mm×高さ300mm) |
12ポート (側面8/底面4) |
□50mm ・ □140mm (Max) |
1点式 |
SEREM PSE-150C 1 式 |
油拡散ポンプ (空冷) (200L/sec) |
有り |
油回転真空ポンプ (100L/min) |
インライントラップ OMI-100 |
バタフライバルブ |
三方向バルブ |
オプション |
手動 |
GP-1G |
GI-M2 |
730mm (W) ×603mm (D) ×1,161mm (H) |
480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H) |
145kg |
40kg |
100V 単相 50/60Hz 1.4kVA |
200V 単相 50/60Hz 1.5kVA |
D種 (接地抵抗値 100Ω以下) |
ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m |
ビニルキャプタイヤケーブル (R2.0-5 圧着端子付) 2m |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
