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小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気時間 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ※2 | 基板/電極間距離 | 蒸発電極構成 | 蒸発電極 | メインポンプ | 補助ポンプ | オイルミストトラップ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | 膜厚計 | 最大寸法 (mm) | 質量 (kg) | 最大寸法 (電源) (mm) | 質量 (電源) (kg) | 所要電気量 (本体) | 所要電気量 (電源) | 取り合い (本体) | 取り合い (電源) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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VTR-060M/ERH |
要見積もり | 10-4 | 4.0×10-3Pa/20min | 円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm) | 7ポート (底面) | □50mm ・ □120mm (Max) | Max 200mm | 1点式 | SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max) | ターボ分子ポンプ 60L/sec | 油回転真空ポンプ 20L/min | OMT-050A | オプション (バタフライバルブ) | オプション (三方向バルブ) | オプション | 手動 | オプション (CRTM-6000G) | 428 (W) × 438 (L) × 713 (H) | 50 | 480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H) | 24 | 単相 (100V) (50/60Hz) : 0.6kVA | 単相 (100V) (50/60Hz) : 0.8kVA | 単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m | 単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m |
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