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シリーズ
小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気時間 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ※2 | 基板/電極間距離 | 蒸発電極構成 | 蒸発電極 | メインポンプ | 補助ポンプ | オイルミストトラップ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | 膜厚計 | 最大寸法 (mm) | 質量 (kg) | 最大寸法 (電源) (mm) | 質量 (電源) (kg) | 所要電気量 (本体) | 所要電気量 (電源) | 取り合い (本体) | 取り合い (電源) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
VTR-060M/ERH |
要見積もり |
10-4 |
4.0×10-3Pa/20min |
円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm) |
7ポート (底面) |
□50mm ・ □120mm (Max) |
Max 200mm |
1点式 |
SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max) |
ターボ分子ポンプ 60L/sec |
油回転真空ポンプ 20L/min |
OMT-050A |
オプション (バタフライバルブ) |
オプション (三方向バルブ) |
オプション |
手動 |
オプション (CRTM-6000G) |
428 (W) × 438 (L) × 713 (H) |
50 |
480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H) |
24 |
単相 (100V) (50/60Hz) : 0.6kVA |
単相 (100V) (50/60Hz) : 0.8kVA |
単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m |
単相 (100V) : ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m |
