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小型真空蒸着装置 VTS-350M/ERH取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気時間 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ※2 | 蒸発電極構成 | 蒸発電源・数量 | メインポンプ | 液体窒素トラップ | 補助ポンプ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | ピラニ真空計 | 電離真空計 | 本体最大寸法 | 電源最大寸法 | 本体質量 | 電源質量 | 所要電気量 本体 | 所要電気量 電源 | アース端子 | 取り合い 本体 1φ100V | 取り合い 電源 1φ200V |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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VTS-350M/ERH |
要見積もり |
4.0×10-4Pa 2.0×10-4Pa (液体窒素使用時) ※1 ※1：液体窒素トラップはオプションです。 |
4.0×10-3Pa/10min 3.0×10-3Pa/10min (液体窒素使用時) ※1 ※1：液体窒素トラップはオプションです。 |
ガラスベルジャー (内径φ300mm×高さ300mm) | 12ポート (側面8/底面4) |
□50mm ・ □140mm (Max) ※2：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。 |
1点式 |
SEREM PSE-150C 1 式 0~10V 150A (Max) |
ターボ分子ポンプ (345L/sec) | オプション | スクロールポンプ (250L/min) | バタフライバルブ | 三方向バルブ | 有り | 手動 | GP-1G | GI-M2 | 730mm (W) ×584mm (D) ×1,161mm (H) | 480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H) | 160kg | 40kg | 100V 単相 50/60Hz 0.9kVA | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | D種 (接地抵抗値 100Ω以下) | ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m | ビニルキャプタイヤケーブル (R2.0-5 圧着端子付) 2m |
