小型真空蒸着装置 VTS-350M/ERH
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコ ンパクトに収納。 このDEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。DEPOXシリーズの詳しい操作手順をYoutubeにて公開しています。お役立てください。■特長
・キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。 ・アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。 ・ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。 ・メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。 ・蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着 (最大4層) が可能です。 ・RoHS対応-
シリーズ
小型真空蒸着装置 VTS-350M/ERH
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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小型真空蒸着装置 VTS-350M/ERH 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気時間 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ※2 | 蒸発電極構成 | 蒸発電源・数量 | メインポンプ | 液体窒素トラップ | 補助ポンプ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | ピラニ真空計 | 電離真空計 | 本体最大寸法 | 電源最大寸法 | 本体質量 | 電源質量 | 所要電気量 本体 | 所要電気量 電源 | アース端子 | 取り合い 本体 1φ100V | 取り合い 電源 1φ200V |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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VTS-350M/ERH |
要見積もり |
4.0×10-4Pa 2.0×10-4Pa (液体窒素使用時) ※1 ※1：液体窒素トラップはオプションです。 |
4.0×10-3Pa/10min 3.0×10-3Pa/10min (液体窒素使用時) ※1 ※1：液体窒素トラップはオプションです。 |
ガラスベルジャー (内径φ300mm×高さ300mm) | 12ポート (側面8/底面4) |
□50mm ・ □140mm (Max) ※2：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。 |
1点式 |
SEREM PSE-150C 1 式 0~10V 150A (Max) |
ターボ分子ポンプ (345L/sec) | オプション | スクロールポンプ (250L/min) | バタフライバルブ | 三方向バルブ | 有り | 手動 | GP-1G | GI-M2 | 730mm (W) ×584mm (D) ×1,161mm (H) | 480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H) | 160kg | 40kg | 100V 単相 50/60Hz 0.9kVA | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | D種 (接地抵抗値 100Ω以下) | ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m | ビニルキャプタイヤケーブル (R2.0-5 圧着端子付) 2m |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
