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シリーズ
高速型真空蒸着装置 VPC-1100取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気時間 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ※1 | 蒸発電極構成 | 蒸発電源・数量 | メインポンプ※2 | 液体窒素トラップ | 補助ポンプ | オイルミストトラップ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | ピラニ真空計 | 電離真空計 | 本体最大寸法 | 電源最大寸法 | 本体質量 | 電源質量 | 本体 | アース端子 | 本体 3φ200V | 本体 1φ100V | 所要水量 | 取り合い (ソケット) | 推奨ホース※ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
VPC-1100 |
要見積もり |
4.0×10-4Pa |
4.0×10-3Pa/10min |
ガラスベルジャー (内径φ390mm×高さ350mm) |
20ポート (側面14/底面6) |
□50mm ・ □220mm (Max) |
3点式 |
SEREM PSE-150C・1 式 |
油拡散ポンプ (水冷) 1,100L/sec |
有り |
油回転真空ポンプ 200L/min、2台 |
オプション |
バタフライバルブ |
三方向バルブ |
オプション |
手動 |
GP-1G |
オプション |
1,235mm (W) ×836mm (D) ×2,155mm (H) |
装置本体収納 |
313kg |
装置本体収納 |
200V 3相 50/60Hz 5.0kVA |
D種 (接地抵抗値 100Ω以下) |
ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m |
ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m |
1.5 L／min (水温：20~25℃、水圧：200kPa (ゲージ圧) ) |
Rp1/4 (カンタッチ継手付) |
テトロンブレードホース (内径9mm×外径15mm) |
