高速型真空蒸着装置 VPC-1100
アルバック販売株式会社

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この製品について

■水冷式油拡散ポンプ (1,100L/sec) ＋油回転真空ポンプ架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

■特長・キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
・アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
・ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
・メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
・蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
・EB仕様への変更で高融点材料の成膜が可能です。
・RoHS対応

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高速型真空蒸着装置 VPC-1100

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

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メトリーの使い方

1

問い合わせ

お客様からメーカーに対して問い合わせ・見積もり依頼を行うと、内容がメーカーに通知されます。
2

メトリーからメーカーに催促

メーカーの対応が遅い場合、メトリーがお客様に代わって催促のメール・電話を実施します。
3

直接やり取り

お客様にメーカーからメールにて回答が届き、お客様とメーカーで直接やり取りを行います。

メトリーを使う5つのメリット

簡単一括問い合わせ

ワンクリックでまとめて問い合わせができるため、各メーカーのホームページで同じ内容をフォームに入力する手間を省くことができます。
お客様の代わりに催促

メーカーの対応が遅い場合、メトリーがお客様に代わって催促のメール・電話を実施します。
返答率は96%以上

メトリーがお客様に代わって、メーカーに催促の電話を実施すること、さらに、返答率がメトリー上に表示されるため、メーカー公式サイトから問い合わせに比べて返答率が格段に高いです。
利用はもちろん無料

メトリーは一部企業からの広告宣伝費によって運営されているため、ご利用には一切費用がかかりません。手数料等のマージンも頂いておりませんので、安心してご利用ください。
電話番号不要

電話番号の入力は任意のため、不必要に何社からも電話がかかってくることはありません。

メトリーとは？

登録企業は10,000社以上

メトリーは産業用製品の選定・取引をよりスムーズにするためのサービスです。多くの企業にご賛同いただき、10,000社以上のメーカー・代理店がメトリーに製品登録しています。
上場企業から中小企業まで多様な登録企業
京セラ株式会社アルプスアルパイン株式会社パナソニックインダストリー株式会社安川電機株式会社マクニカ富士ソフト株式会社ダイキン工業株式会社旭化成株式会社他10,000社以上
幅広い業種の方々にご利用頂いております

大手企業・中小企業・研究機関等の、エンジニア・研究者・購買担当者など幅広い方々にご利用頂いております。

高速型真空蒸着装置 VPC-1100 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	到達圧力	排気時間	真空槽	フィードスルカラー	基板推奨サイズ・最大サイズ※1	蒸発電極構成	蒸発電源・数量	メインポンプ※2	液体窒素トラップ	補助ポンプ	オイルミストトラップ	メインバルブ	補助バルブ	自動リークバルブ	操作	ピラニ真空計	電離真空計	本体最大寸法	電源最大寸法	本体質量	電源質量	本体	アース端子	本体 3φ200V	本体 1φ100V	所要水量	取り合い (ソケット)	推奨ホース※
	VPC-1100	要見積もり	4.0×10-4Pa 1.3×10-4Pa (液体窒素使用時)	4.0×10-3Pa/10min 10-4Pa/10min (液体窒素使用時)	ガラスベルジャー (内径φ390mm×高さ350mm)	20ポート (側面14/底面6)	□50mm ・ □220mm (Max) ※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。	3点式	SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A (Max)	油拡散ポンプ (水冷) 1,100L/sec ※2：ターボ分子ポンプ (TMP) 仕様にアレンジいたします。	有り	油回転真空ポンプ 200L/min、2台	オプション	バタフライバルブ	三方向バルブ	オプション	手動	GP-1G	オプション	1,235mm (W) ×836mm (D) ×2,155mm (H)	装置本体収納	313kg	装置本体収納	200V 3相 50/60Hz 5.0kVA 100V 単相 50/60Hz 1.0kVA	D種 (接地抵抗値 100Ω以下)	ビニルキャプタイヤケーブル (R3.5-4 圧着端子付) 4m	ビニルキャプタイヤケーブル (プラグ付) 4m	1.5 L／min　 (水温：20~25℃、水圧：200kPa (ゲージ圧) )	Rp1/4 (カンタッチ継手付)	テトロンブレードホース (内径9mm×外径15mm) ※冷却水配管は、お客様にて準備願います。