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バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ-eiシリーズ
バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ-アルバック販売株式会社

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■概要

バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動で行うことができるため、研究開発および少量生産に適しています。

■用途

・パワーデバイス等の化合物関連 ・LED、LD、高速デバイス ・各種実験用 ・その他電子部品全般

■特徴

・多様な蒸発源を搭載可能 (EB、抵抗、EB+抵抗) ・プロセスに応じた基板ホルダ (リフトオフ、プラネタリ、サテライトetc.) ・φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、ガラス、セラミック各種基板対応 ・液晶タッチパネル上での集中表示・操作 ・PCによる優れた操作性・機能 (レシピ機能・データロギング・メンテナンスアシスト機能)

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    バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ

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