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バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ-eiシリーズ
バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ-アルバック販売株式会社

バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ
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■概要

バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動で行うことができるため、研究開発および少量生産に適しています。

■用途

・パワーデバイス等の化合物関連 ・LED、LD、高速デバイス ・各種実験用 ・その他電子部品全般

■特徴

・多様な蒸発源を搭載可能 (EB、抵抗、EB+抵抗) ・プロセスに応じた基板ホルダ (リフトオフ、プラネタリ、サテライトetc.) ・φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、ガラス、セラミック各種基板対応 ・液晶タッチパネル上での集中表示・操作 ・PCによる優れた操作性・機能 (レシピ機能・データロギング・メンテナンスアシスト機能)

  • シリーズ

    バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ

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バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ 品番1件

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バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ-品番-eiシリーズ

eiシリーズ

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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