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シリーズ
巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品92点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 用途 | 蒸発源 | 基板材質 | 基板サイズ (幅) | 巻取速度 | 膜厚分布n | 膜厚モニター | 主排気系 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
EWAシリーズ |
要見積もり |
包装材料、金銀糸 |
高周波誘導加熱方式 |
PET、OPP、PVC、CPP他高分子フィルム、紙、金属箔等 |
~3,000mm |
1,000 m/min max. |
±5% (成膜条件により変動します) |
透過式モニタ、渦電流式モニタ、接触式抵抗値モニタ等 |
油拡散ポンプ、油拡散エゼクタポンプ |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
