巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ
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この製品について

■概要プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、包装材料、コンデンサ、磁気テープ他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。

■用途・包装材料、透明ガスバリア、金銀糸
・コンデンサ
・磁気テープ
・光学膜

■特徴・基板搬送は最新の巻取制御技術を駆使し、各種材質、サイズに応じ安定した走行を実現しています。
・蒸着目的に応じ、最適な蒸発源 (誘導加熱方式、抵抗加熱方式、EB加熱方式) を選択できます。
・プロセス条件を最適化する為に、各種前処理／後処理機構を取り揃えております。
・オンライン測定が可能な、透過式膜厚モニタ・渦電流式膜厚モニタ・抵抗値モニタ・等を取り揃えております。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

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巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	用途	蒸発源	基板材質	基板サイズ (幅)	巻取速度	膜厚分布n	膜厚モニター	主排気系
	EWAシリーズ	要見積もり	包装材料、金銀糸	高周波誘導加熱方式	PET、OPP、PVC、CPP他高分子フィルム、紙、金属箔等	~3,000mm	1,000 m/min max.	±5% (成膜条件により変動します)	透過式モニタ、渦電流式モニタ、接触式抵抗値モニタ等基板加熱、AC/DCボンバード、RFボンバード等	油拡散ポンプ、油拡散エゼクタポンプ