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巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ-EWAシリーズ
巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ-アルバック販売株式会社

巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、包装材料、コンデンサ、磁気テープ他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。

■用途

・包装材料、透明ガスバリア、金銀糸 ・コンデンサ ・磁気テープ ・光学膜

■特徴

・基板搬送は最新の巻取制御技術を駆使し、各種材質、サイズに応じ安定した走行を実現しています。 ・蒸着目的に応じ、最適な蒸発源 (誘導加熱方式、抵抗加熱方式、EB加熱方式) を選択できます。 ・プロセス条件を最適化する為に、各種前処理/後処理機構を取り揃えております。 ・オンライン測定が可能な、透過式膜厚モニタ・渦電流式膜厚モニタ・抵抗値モニタ・等を取り揃えております。

  • シリーズ

    巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ

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巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 用途 蒸発源 基板材質 基板サイズ (幅) 巻取速度 膜厚分布n 膜厚モニター 主排気系
巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ-品番-EWAシリーズ

EWAシリーズ

要見積もり

包装材料、金銀糸

高周波誘導加熱方式

PET、OPP、PVC、CPP他高分子フィルム、紙、金属箔等

~3,000mm

1,000 m/min max.

±5% (成膜条件により変動します)

透過式モニタ、渦電流式モニタ、接触式抵抗値モニタ等
基板加熱、AC/DCボンバード、RFボンバード等

油拡散ポンプ、油拡散エゼクタポンプ

フィルターから探す

蒸着装置をフィルターから探すことができます

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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