有機蒸着セル KOD-Cell
北野精機株式会社

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この製品について

本製品は高蒸気圧材料 (有機物) 薄膜成長用に、低温で安定して動作できる低温セル (Organic Deposition Cell：KOD-Cell) です。KOD-Cellは間接加熱方式の採用により、優れた温度応答性と温度安定性を備えています。

■特徴・ルツボ容量は1ccと小型で、幅広い用途・手軽な使用が可能です
・厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です
・シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます
・シャッター機構付きですので蒸着の調整が可能です
・非常に軽量の為、設置や取り外しが容易に可能です
・接続フランジは、ガスケットタイプですが、自由にカスタム製作可能です
・洗浄方法は超音波洗浄機に入れるだけで、有機材料を取り除くことが可能です

■用途・高蒸気圧材料薄膜の成長
・有機物薄膜の成長
・金属薄膜の成長 (低温蒸着用) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
有機蒸着セル KOD-Cell

取扱企業
北野精機株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

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有機蒸着セル KOD-Cell 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ヒーター	最高動作安定温度	温度安定性	熱電対	ルツボ材質	ルツボ容量	冷却方式	シャッター機構	面内分布	材料効率	蒸着レート	TS間距離	オーバーシュート値	接続フランジ	加熱制御温度
	KOD-Cell	^¥480,000	シース型	500℃	±0.2℃	K型 (C/A)	シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN	1cc	水冷ジャケット付 (SUS1/4“管)	手動式／圧空式 (オプション)	有機膜：±2.5%	0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能	0.01Å/sが容易に可能 (Inficon社製膜厚計を推奨)	基板から蒸着源までの推奨長は250mm	0.2℃以下	ICF-70FH	100℃~500℃