有機蒸着セル KOD-Cell-KOD-Cell
有機蒸着セル KOD-Cell-北野精機株式会社

有機蒸着セル KOD-Cell
北野精機株式会社



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この製品について

本製品は高蒸気圧材料 (有機物) 薄膜成長用に、低温で安定して動作できる低温セル (Organic Deposition Cell:KOD-Cell) です。KOD-Cellは間接加熱方式の採用により、優れた温度応答性と温度安定性を備えています。

■特徴

・ルツボ容量は1ccと小型で、幅広い用途・手軽な使用が可能です ・厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です ・シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます ・シャッター機構付きですので蒸着の調整が可能です ・非常に軽量の為、設置や取り外しが容易に可能です ・接続フランジは、ガスケットタイプですが、自由にカスタム製作可能です ・洗浄方法は超音波洗浄機に入れるだけで、有機材料を取り除くことが可能です

■用途

・高蒸気圧材料薄膜の成長 ・有機物薄膜の成長 ・金属薄膜の成長 (低温蒸着用)

  • シリーズ

    有機蒸着セル KOD-Cell

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有機蒸着セル KOD-Cell 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ヒーター 最高動作安定温度 温度安定性 熱電対 ルツボ材質 ルツボ容量 冷却方式 シャッター機構 面内分布 材料効率 蒸着レート TS間距離 オーバーシュート値 接続フランジ 加熱制御温度
有機蒸着セル KOD-Cell-品番-KOD-Cell

KOD-Cell

¥480,000 シース型 500℃ ±0.2℃ K型 (C/A) シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN 1cc 水冷ジャケット付 (SUS1/4“管) 手動式/圧空式 (オプション) 有機膜:±2.5% 0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能 0.01Å/sが容易に可能 (Inficon社製膜厚計を推奨) 基板から蒸着源までの推奨長は250mm 0.2℃以下 ICF-70FH 100℃~500℃

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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