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有機蒸着セル KOD-Cell-北野精機株式会社

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この製品について

本製品は高蒸気圧材料 (有機物) 薄膜成長用に、低温で安定して動作できる低温セル (Organic Deposition Cell：KOD-Cell) です。KOD-Cellは間接加熱方式の採用により、優れた温度応答性と温度安定性を備えています。

■特徴

・ルツボ容量は1ccと小型で、幅広い用途・手軽な使用が可能です ・厳選された材料を使用し、シンプルな構造によりメンテナンスも容易です ・シースヒーター材を使用しておりますので均一な温度が保てます ・シャッター機構付きですので蒸着の調整が可能です ・非常に軽量の為、設置や取り外しが容易に可能です ・接続フランジは、ガスケットタイプですが、自由にカスタム製作可能です ・洗浄方法は超音波洗浄機に入れるだけで、有機材料を取り除くことが可能です

■用途

・高蒸気圧材料薄膜の成長 ・有機物薄膜の成長 ・金属薄膜の成長 (低温蒸着用)

  • シリーズ

    有機蒸着セル KOD-Cell

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有機蒸着セル KOD-Cell 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ヒーター 最高動作安定温度 温度安定性 熱電対 ルツボ材質 ルツボ容量 冷却方式 シャッター機構 面内分布 材料効率 蒸着レート TS間距離 オーバーシュート値 接続フランジ 加熱制御温度
有機蒸着セル KOD-Cell-品番-KOD-Cell

KOD-Cell

¥480,000

シース型

500℃

±0.2℃

K型 (C/A)

シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN

1cc

水冷ジャケット付 (SUS1/4“管)

手動式／圧空式 (オプション)

有機膜：±2.5%

0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能

0.01Å/sが容易に可能 (Inficon社製膜厚計を推奨)

基板から蒸着源までの推奨長は250mm

0.2℃以下

ICF-70FH

100℃~500℃

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