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有機蒸着セル KOD-Cell取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ヒーター | 最高動作安定温度 | 温度安定性 | 熱電対 | ルツボ材質 | ルツボ容量 | 冷却方式 | シャッター機構 | 面内分布 | 材料効率 | 蒸着レート | TS間距離 | オーバーシュート値 | 接続フランジ | 加熱制御温度 |
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KOD-Cell |
¥480,000 | シース型 | 500℃ | ±0.2℃ | K型 (C/A) | シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN | 1cc | 水冷ジャケット付 (SUS1/4“管) | 手動式/圧空式 (オプション) | 有機膜:±2.5% | 0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能 | 0.01Å/sが容易に可能 (Inficon社製膜厚計を推奨) | 基板から蒸着源までの推奨長は250mm | 0.2℃以下 | ICF-70FH | 100℃~500℃ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。