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シリーズ
有機蒸着セル KOD-Cell取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品92点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ヒーター | 最高動作安定温度 | 温度安定性 | 熱電対 | ルツボ材質 | ルツボ容量 | 冷却方式 | シャッター機構 | 面内分布 | 材料効率 | 蒸着レート | TS間距離 | オーバーシュート値 | 接続フランジ | 加熱制御温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
KOD-Cell |
¥480,000 |
シース型 |
500℃ |
±0.2℃ |
K型 (C/A) |
シェイパル、高密度カーボン、アルミナ、石英ガラス、AlN |
1cc |
水冷ジャケット付 (SUS1/4“管) |
手動式／圧空式 (オプション) |
有機膜：±2.5% |
0.2gの材料にて、1Å/sのレートで50nmの成膜を5回以上可能 |
0.01Å/sが容易に可能 (Inficon社製膜厚計を推奨) |
基板から蒸着源までの推奨長は250mm |
0.2℃以下 |
ICF-70FH |
100℃~500℃ |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15返答率
100.0%
返答時間
19.4時間
