卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート)
ハイソル株式会社
この製品について
■アプリケーション
・SAM膜 (自己組織化単分子膜) の形成 ・シランカップリング処理 (有機物と無機物の化学的結合に有効) ・表面改質処理 (親水性・疎水性コントロール) ・スライドガラスへのシランコート ・ウェハのフォトレジスト接着性向上 (HMDS処理) ・マイクロアレイ シランと基板の接着 ・摩擦ダメージ (スティクション) 防止の為のMEMSコーティング ・バイオMEMSやバイオセンサのドリフト防止コーティング ・金属材料の防食 (さび止め) コーティング ・生体適合性の向上 etc…■特長
・アミノシラン、エポキシシラン、メルカプトシラン、APTES, FDTS etc…用途に応じた多様なシランカップリング剤を使用可能 ・ワークの温度、蒸気温度、蒸気圧及びCVD処理時間など全てのパラメータをコントロールし、最適な表面処理結果が得られます ・高い温度安定性でムラの無い膜を形成 ・チャンバー内で全行程自動一括処理される為、安全性が非常に高い ・ベーパープライム方式は、スピンコート方式と比較して薬液使用量を約99%削減、MEMSなどの立体構造物も問題なく処理可能 ・205℃以下の低温プロセス蒸着による高い汎用性■CVDプロセス前のプラズマ洗浄
YES社のプラズマ洗浄プロセスは以下の特長があり、あらゆるワークに対応可能な装置となっています。■40kHzの低周波数プラズマ
13.56MHzの高周波プラズマと比較して、熱損失が少なく効率の良いプラズマ処理。 (少ない電力消費で高い処理結果を実現)■平行平板式のチャンバーデザイン
ワークの大きさ (高さ) に応じてトレイをレイアウト可能。電極の役割を果たすトレイ間で面内全体にプラズマが発生する為、温度安定性が高く、再現性の高い処理結果を実現-
シリーズ
卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート)
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取扱企業
ハイソル株式会社
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カテゴリ
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卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート) 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | チャンバーサイズ (約) W×D×H | 本体サイズ (約) W×D×H | キャパシティ (ウェハの場合、25枚/カセット) | キャパシティ (スライドの場合トレイ&シェルフが要) | スループット | 動作温度 | 温度安定性 | 薬品数 (フラスク数) | 薬品使用量 | マスフローコントローラ | レシピ数 | プロセス時間 | 時間設定分解能 | RFプラズマ周波数 | RFプラズマパワー | プラズマガス入力ポート | プロセスガス入力ポート | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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EcoCoat |
要見積もり | Class 10 | 41×46×41 cm | 116×98×113 cm |
4″,6″ ウェハ 8カセット 8″ ウェハ 2カセット 12″ ウェハ 1カセット |
約2,000枚 | 1バッチ / 時 (設定するレシピにより異なります) | 常温 – 205℃ | ± 5℃ | 2個 (オプション最大3個) | 0.1 – 3ml | オプション最大3個 |
・CVD : 6レシピ ・プラズマ : 4レシピ |
1 – 999,999 秒 | 1秒 | 40kHz | 100 -1,000W | 3個 | 1個 | 単相 208V, 30A, 60Hz |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
