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返答率
100.0%
平均返答時間
75.6時間
シリーズ
卓上型シランCVD成膜装置 EcoCoat (エココート)取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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半導体製造装置の製品116点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | チャンバーサイズ (約) W×D×H | 本体サイズ (約) W×D×H | キャパシティ (ウェハの場合、25枚/カセット) | キャパシティ (スライドの場合トレイ&シェルフが要) | スループット | 動作温度 | 温度安定性 | 薬品数 (フラスク数) | 薬品使用量 | マスフローコントローラ | レシピ数 | プロセス時間 | 時間設定分解能 | RFプラズマ周波数 | RFプラズマパワー | プラズマガス入力ポート | プロセスガス入力ポート | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
EcoCoat |
要見積もり |
Class 10 |
41×46×41 cm |
116×98×113 cm |
4″,6″ ウェハ 8カセット |
約2,000枚 |
1バッチ / 時 (設定するレシピにより異なります) |
常温 – 205℃ |
± 5℃ |
2個 (オプション最大3個) |
0.1 – 3ml |
オプション最大3個 |
・CVD : 6レシピ |
1 – 999,999 秒 |
1秒 |
40kHz |
100 -1,000W |
3個 |
1個 |
単相 208V, 30A, 60Hz |
