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ICF成膜装置-ナノテック株式会社

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この製品について

DLCを含む高機能性を持つカーボン膜による超鏡面性,導電性,耐熱性,撥水性,アルミニウム合金用,光学用,絶縁性,環境調和型を付与したコーティング装置。 原理・構造 DLC薄膜の応用用途が拡大するのに伴い、単に硬質で摩擦係数が低い「ダイヤモンドライクカーボン」という呼称では、その機能を含め捉えきれなくなってきました。DLC薄膜の特性を物性により分類した用途別の活用が必要とされています。この分類を明確にするため、新たにDLCを大きな枠組みで促えなおす概念としてICF (Intrinsic Carbon Film : 真性カーボン膜) があります。 高機能の付加 ICFは、DLCを含む高機能性を持つカーボン膜の呼称です。弊社は、独自のDLCコーティングテクノロジーを発展させDLCに各種ドーピングや構造制御などを行うことで、様々な高機能性の付与に成功しました。弊社の技術データと成膜制御技術により最適なICFを設計し、各種応用用途に合わせたコーティングを行うことが可能になりました。

  • シリーズ

    ICF成膜装置

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ICF成膜装置 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 基板ホルダー 搭載放電システム 到達圧力 排気速度 基板加熱機構 基板バイアス 装置制御 排気系 冷却水 圧縮空気
ICF成膜装置-品番-ICF-500

ICF-500

要見積もり

500W×500W×600H

φ200×200L

自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)

DLCイオン源(イオン化蒸着源)

6.7E-4Pa以下

6.7E-3Pa以下まで30分以内

オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)

MAX3,000V500mA

レシピ画面設定による完全自動運転

ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ

3φ200V10kVA

2.5W×3.0D×2.5H

3kgf/cm220~40L/min

6kgf/cm2以上

ICF成膜装置-品番-ICF-800

ICF-800

要見積もり

φ800×650H

φ500×200L

自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)

DLCイオン源(イオン化蒸着源)

6.7E-4Pa以下

6.7E-3Pa以下まで30分以内

オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)

MAX3,000V500mA

レシピ画面設定による完全自動運転

ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ

3φ200V20kVA

3.0W×4.0D×2.5H

3kgf/cm220~40L/min

6kgf/cm2以上

ICF成膜装置-品番-ICF-1000

ICF-1000

要見積もり

φ1000×900H

φ600×500L

自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)

DLCイオン源(イオン化蒸着源)

6.7E-4Pa以下

6.7E-3Pa以下まで30分以内

オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)

MAX3,000V500mA

レシピ画面設定による完全自動運転

ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ

3φ200V30kVA

4.0W×4.0D×2.5H

3kgf/cm220~40L/min

6kgf/cm2以上

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ナノテック株式会社は、真空を利用した金属及びセラミック表面改質装置の製造販売などを行う企業です。 真空利用だけではなく、プラズマ利用による金属加工装置の販売を行っています。また、材料の特性を評価する試験装置の輸入や...

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