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ICF成膜装置取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 真空槽(mm) | 有効エリア(mm) | 基板ホルダー | 搭載放電システム | 到達圧力 | 排気速度 | 基板加熱機構 | 基板バイアス | 装置制御 | 排気系 | 所要電力 | 設置面積(Ｍ) | 冷却水 | 圧縮空気 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ICF-500 |
要見積もり |
500W×500W×600H |
φ200×200L |
自公転式(製品形状に応じて特注製作可能) |
DLCイオン源(イオン化蒸着源) |
6.7E-4Pa以下 |
6.7E-3Pa以下まで30分以内 |
オプション(シースヒーター、ランプヒーター等) |
MAX3,000V500mA |
レシピ画面設定による完全自動運転 |
ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ |
3φ200V10kVA |
2.5W×3.0D×2.5H |
3kgf/cm220~40L/min |
6kgf/cm2以上 |
|
|
|
ICF-800 |
要見積もり |
φ800×650H |
φ500×200L |
自公転式(製品形状に応じて特注製作可能) |
DLCイオン源(イオン化蒸着源) |
6.7E-4Pa以下 |
6.7E-3Pa以下まで30分以内 |
オプション(シースヒーター、ランプヒーター等) |
MAX3,000V500mA |
レシピ画面設定による完全自動運転 |
ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ |
3φ200V20kVA |
3.0W×4.0D×2.5H |
3kgf/cm220~40L/min |
6kgf/cm2以上 |
|
|
|
ICF-1000 |
要見積もり |
φ1000×900H |
φ600×500L |
自公転式(製品形状に応じて特注製作可能) |
DLCイオン源(イオン化蒸着源) |
6.7E-4Pa以下 |
6.7E-3Pa以下まで30分以内 |
オプション(シースヒーター、ランプヒーター等) |
MAX3,000V500mA |
レシピ画面設定による完全自動運転 |
ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ |
3φ200V30kVA |
4.0W×4.0D×2.5H |
3kgf/cm220~40L/min |
6kgf/cm2以上 |
