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この製品について

■概要

100kWの直進銃を搭載したEBPVD装置です。新しい断熱膜の研究開発用として使用していただいています。

  • シリーズ

    EBPVD装置

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EBPVD装置 品番1件

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社MPS

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会社概要

株式会社MPSは、2004年に設立した、電子ビーム溶接をはじめとする真空機器の製造・販売をしている会社です。 主な事業内容は、電子ビーム溶接機、成膜装置、真空装置用コンポーネントの製造・販売になります。 真空機器や溶接...

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  • 本社所在地: 千葉県

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