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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応真空蒸着装置 SEC-22C取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月9日にレビュー済み
顧客対応への満足度
迅速な回答、説明があった。
初回対応までの時間への満足度
27.47時間
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蒸着装置の製品80点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 到着圧力 | 排気速度 | 蒸発源 | 基板加熱 | 膜厚分布 | 排気系 | 真空槽サイズ | フットプリント | 電力 本体 | 電力 蒸発源 | 水量 | 圧空 | ガス圧力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SEC-22C |
要見積もり |
(株) 昭和真空 |
6.7×10-5Pa以下 |
大気圧より4.0×10-4Paまで20分以内 |
電子銃270°偏向、電源16kW |
MAX150℃ 常用100℃ |
±1％以内 (バッチ内、バッチ間) T/S=900mm |
クライオポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ |
W800mm×D800mm×H1,300mm、SUS304製 |
W3,700mm×D4,300mm×H2,400mm |
φ3 200V 約40KVA (115A) |
φ3 200V 約25KVA (73A) |
0.2MPa以上 (差圧) 、44L/min、20~25℃ |
0.7MPa (設定圧0.5MPa) 、接続口径Rc1/2 |
0.05MPa (設定圧0.02MPa) 、接続口径SWL1/4 |
