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小型蒸着装置 VTR-060M/ERH取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月6日にレビュー済み
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27.47時間
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蒸着装置の製品92点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 到達圧力 | 排気時間 | 真空層 | フィードスルーカラー | 基盤推奨サイズ | 基板/電極間距離 | 蒸発電極構成 | 蒸発電極 | メインポンプ | 補助ポンプ | オイルミストトラップ | メインバルブ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | 膜厚計 | 最大寸法 (mm) | 質量 (kg) | 最大寸法 (mm) 電源部 | 質量 (kg) 電源部 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
VTR-060M/ERH |
要見積もり |
アルバック機工 (株) |
10-4Pa |
4.0×10-3Pa/20min |
円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm) |
7ポート (底面) |
□50mm ・ □120mm (Max) |
Max 200mm |
1点式 |
SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max) |
ターボ分子ポンプ 60L/sec |
油回転真空ポンプ 20L/min |
OMT-050A |
オプション (バタフライバルブ) |
オプション (三方向バルブ) |
オプション |
手動 |
オプション (CRTM-6000G) |
428 (W) × 438 (L) × 713 (H) |
50 |
480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H) |
24 |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
