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小型蒸着装置 VTR-350M/ERH取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月6日にレビュー済み
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27.47時間
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蒸着装置の製品92点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 排気時間 | 排気時間 液体窒素使用時 | 到達圧力 | 到達圧力 液体窒素使用時 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ | 蒸発電極構成 | 蒸発電源・数量 | メインポンプ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | ピラニ真空計 | 電離真空計 | 最大寸法 (本体) | 最大寸法 (電源) | 質量 (本体) | 質量 (電源) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
VTR-350M/ERH |
要見積もり |
アルバック機工 (株) |
4.0×10-4Pa |
2.0×10-4Pa |
4.0×10-4Pa |
2.0×10-4Pa |
ガラスベルジャー (内径Φ300mm×高さ300mm) |
12ポート (側面8/底面4) |
□50mm・□140mm (最大) |
1点式 |
SEREM PSE-150C 1 式 0~10V 150A (Max) |
バタフライバルブ |
三方向バルブ |
有り |
手動 |
GP-1G |
GI-M2 |
730mm (W) ×584mm (D) ×1,161mm (H) |
480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H) |
160kg |
40kg |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
