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小型蒸着装置 VTR-350M/ERH-VTR-350M/ERH
小型蒸着装置 VTR-350M/ERH-三弘エマテック株式会社

小型蒸着装置 VTR-350M/ERH
三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

■特徴

キャスター付きで移動が容易、尚且つアジャスターも搭載していますので設置の安全性を確保できます。ガラスベルジャーにより内部が見やすく、良好な操作性を確保できます。メインポンプを停止させなくても、真空槽の開放を行うことが可能なので操作性が良いです。蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着 (最大4層) が可能です。

  • シリーズ

    小型蒸着装置 VTR-350M/ERH

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月6日にレビュー済み

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小型蒸着装置 VTR-350M/ERH 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー 排気時間 排気時間 液体窒素使用時 到達圧力 到達圧力 液体窒素使用時 真空槽 フィードスルカラー 基板推奨サイズ・最大サイズ 蒸発電極構成 蒸発電源・数量 メインポンプ 補助バルブ 自動リークバルブ 操作 ピラニ真空計 電離真空計 最大寸法 (本体) 最大寸法 (電源) 質量 (本体) 質量 (電源)
小型蒸着装置 VTR-350M/ERH-品番-VTR-350M/ERH

VTR-350M/ERH

要見積もり

アルバック機工 (株)

4.0×10-4Pa

2.0×10-4Pa

4.0×10-4Pa

2.0×10-4Pa

ガラスベルジャー (内径Φ300mm×高さ300mm)

12ポート (側面8/底面4)

□50mm・□140mm (最大)

1点式

SEREM PSE-150C 1 式 0~10V 150A (Max)

バタフライバルブ

三方向バルブ

有り

手動

GP-1G

GI-M2

730mm (W) ×584mm (D) ×1,161mm (H)

480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H)

160kg

40kg

フィルターから探す

蒸着装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

27.6時間


企業レビュー

5.0

会社概要

三弘エマテック株式会社は、1975年に設立された、真空機器、装置等の販売を行う企業です。

「真空技術」を軸とした、ポンプや分析機器、理化学機械を取り扱います。取り扱うメーカーは200社以上あり、顧客のニ...

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  • 本社所在地: 愛知県

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