小型蒸着装置 VTR-350M/ERH
三弘エマテック株式会社
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この製品について
■製品説明
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。■特徴
キャスター付きで移動が容易、尚且つアジャスターも搭載していますので設置の安全性を確保できます。ガラスベルジャーにより内部が見やすく、良好な操作性を確保できます。メインポンプを停止させなくても、真空槽の開放を行うことが可能なので操作性が良いです。蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着 (最大4層) が可能です。-
シリーズ
小型蒸着装置 VTR-350M/ERH
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取扱企業
三弘エマテック株式会社
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カテゴリ
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小型蒸着装置 VTR-350M/ERH 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 排気時間 | 排気時間 液体窒素使用時 | 到達圧力 | 到達圧力 液体窒素使用時 | 真空槽 | フィードスルカラー | 基板推奨サイズ・最大サイズ | 蒸発電極構成 | 蒸発電源・数量 | メインポンプ | 補助バルブ | 自動リークバルブ | 操作 | ピラニ真空計 | 電離真空計 | 最大寸法 (本体) | 最大寸法 (電源) | 質量 (本体) | 質量 (電源) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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VTR-350M/ERH |
要見積もり | アルバック機工 (株) | 4.0×10-4Pa | 2.0×10-4Pa | 4.0×10-4Pa | 2.0×10-4Pa | ガラスベルジャー (内径Φ300mm×高さ300mm) | 12ポート (側面8/底面4) | □50mm・□140mm (最大) | 1点式 | SEREM PSE-150C 1 式 0~10V 150A (Max) | バタフライバルブ | 三方向バルブ | 有り | 手動 | GP-1G | GI-M2 | 730mm (W) ×584mm (D) ×1,161mm (H) | 480mm (W) ×435.3mm (D) ×149mm (H) | 160kg | 40kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
